[實(shí)用新型]一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202021526806.1 | 申請日: | 2020-07-28 |
| 公開(公告)號: | CN212713841U | 公開(公告)日: | 2021-03-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 鄭偉揚(yáng);王思鋒 | 申請(專利權(quán))人: | 寧夏協(xié)鑫晶體科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/04 | 分類號: | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司: | 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237 | 代理人: | 徐芝強(qiáng);肖明芳 |
| 地址: | 755099 寧*** | 國省代碼: | 寧夏;64 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 單晶爐 二次 料器 摻雜 工裝 | ||
1.一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,包括聚四氟乙烯材質(zhì)的漏斗(1),以及石英材質(zhì)的導(dǎo)流管(2);所述漏斗(1)的底部設(shè)有內(nèi)螺紋,所述導(dǎo)流管(2)的頂部設(shè)有外螺紋,漏斗(1)與導(dǎo)流管(2)通過內(nèi)外螺紋可拆卸的連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述導(dǎo)流管(2)的底部設(shè)有下口加強(qiáng)環(huán)(3),其為石英材質(zhì);導(dǎo)流管(2)的底部設(shè)有外螺紋,下口加強(qiáng)環(huán)(3)內(nèi)部設(shè)有內(nèi)螺紋,下口加強(qiáng)環(huán)(3)通過內(nèi)外螺紋可拆卸的套接在導(dǎo)流管(2)的底部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述導(dǎo)流管(2)靠近漏斗(1)的端部設(shè)有保護(hù)環(huán)(4),其為聚四氟乙烯材質(zhì),通過套接的方式固定在導(dǎo)流管(2)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述導(dǎo)流管(2)位于保護(hù)環(huán)(4)的下方,還設(shè)有石英材質(zhì)的支撐臺(5),所述支撐臺(5)設(shè)有內(nèi)螺紋,導(dǎo)流管(2)位于保護(hù)環(huán)(4)的下方設(shè)有外螺紋,支撐臺(5)通過內(nèi)外螺紋可拆卸的套接在導(dǎo)流管(2)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述漏斗(1)包括上方的圓錐部(11)和下方的管體部(12),圓錐部(11)和管體部(12)一體成型;所述圓錐部(11)的上方開口半徑為60~80mm;所述管體部(12)的外徑為40~50mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述導(dǎo)流管(2)的外徑為25~35mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述下口加強(qiáng)環(huán)(3)的外徑為40~45mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述保護(hù)環(huán)(4)的外徑為185~195mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝,其特征在于,所述支撐臺(5)的外徑為40~50mm。
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