[實(shí)用新型]一種蒸鍍?cè)O(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021523780.5
• 申請(qǐng)日: 2020-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN212864945U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭沂;林志斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35219
• 代理人: 黃以琳;張忠波

本實(shí)用新型涉及一種蒸鍍?cè)O(shè)備，包括蒸鍍腔體、蒸鍍裝置、填料裝置以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；蒸鍍裝置、填料裝置分別設(shè)置于蒸鍍腔體內(nèi)，填料裝置設(shè)置于蒸鍍裝置的一側(cè)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與填料裝置可拆卸連接；蒸鍍裝置用于蒸鍍蒸鍍材料；填料裝置用于向蒸鍍裝置提供蒸鍍材料；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于將填料裝置旋轉(zhuǎn)至蒸鍍裝置上方；填料裝置包括填料腔體、感應(yīng)機(jī)構(gòu)以及出料開關(guān)；感應(yīng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于填料腔體的內(nèi)壁上，出料開關(guān)設(shè)置于填料腔體上；填料腔體用于存放蒸鍍材料；感應(yīng)機(jī)構(gòu)用于感應(yīng)蒸鍍材料的重量變化。蒸鍍過程中，可以完全在真空狀態(tài)下進(jìn)行加料，使蒸鍍?cè)O(shè)備持續(xù)保持在真空狀態(tài)進(jìn)行連續(xù)蒸鍍，避免外界空氣中的顆粒進(jìn)入腔體內(nèi)，保持了蒸鍍腔體內(nèi)的潔凈度，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍?cè)O(shè)備。

背景技術(shù)

OLED(Organic Light Emitting Display),即有機(jī)發(fā)光顯示屏，在MP3 屏幕應(yīng)用領(lǐng)域?qū)儆谛箩绕鸬姆N類，被譽(yù)為“夢(mèng)幻顯示屏”。它無需背光燈，而是“主動(dòng)發(fā)光“它拋棄了傳統(tǒng)LCD的缺點(diǎn)，每個(gè)像素都可自行發(fā)光，不管在什么角度什么光線下都可以比傳統(tǒng)LCD顯示更加清晰的畫面，環(huán)境越黑屏幕越亮，猶如夜間的熒彩精靈。

蒸鍍就是其中很關(guān)鍵的制程工藝，其工藝為在一定的真空條件下加熱蒸鍍材料，使蒸鍍材料熔化(或升華)成原子、分子或原子團(tuán)組成的蒸氣，然后凝結(jié)在玻璃基板表面成膜，從而形成OLED器件的功能層。

在現(xiàn)有技術(shù)中，蒸鍍?cè)O(shè)備因需要定期頻繁地開腔進(jìn)行加料，開腔加料過程需一定時(shí)間打開腔門，使得外界空氣中的顆粒進(jìn)入腔體內(nèi)，從而影響腔體內(nèi)環(huán)境的潔凈度，污染腔體環(huán)境，影響產(chǎn)品質(zhì)量；且因蒸鍍過程中因蒸鍍?cè)磧?nèi)的蒸鍍材料不足需破真空加料，從而中斷鍍膜，影響產(chǎn)能。

實(shí)用新型內(nèi)容

為此，需要提供一種蒸鍍?cè)O(shè)備，用于解決在現(xiàn)有技術(shù)中，蒸鍍?cè)O(shè)備因需要定期頻繁地開腔進(jìn)行加料，開腔加料過程需一定時(shí)間打開腔門，使得外界空氣中的顆粒進(jìn)入腔體內(nèi)，從而影響腔體內(nèi)環(huán)境的潔凈度，污染腔體環(huán)境，影響產(chǎn)品質(zhì)量；且因蒸鍍過程中因蒸鍍?cè)磧?nèi)的蒸鍍材料不足需破真空加料，從而中斷鍍膜，影響產(chǎn)能等技術(shù)問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，發(fā)明人提供了一種蒸鍍?cè)O(shè)備，包括蒸鍍腔體、蒸鍍裝置、填料裝置以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；

所述蒸鍍裝置、所述填料裝置分別設(shè)置于所述蒸鍍腔體內(nèi)，所述填料裝置設(shè)置于所述蒸鍍裝置的一側(cè)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述填料裝置可拆卸連接；

所述蒸鍍裝置用于蒸鍍蒸鍍材料；

所述填料裝置用于向所述蒸鍍裝置提供蒸鍍材料；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于將所述填料裝置旋轉(zhuǎn)至所述蒸鍍裝置上方；

所述填料裝置包括填料腔體、感應(yīng)機(jī)構(gòu)以及出料開關(guān)；

所述感應(yīng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述填料腔體的內(nèi)壁上，所述出料開關(guān)設(shè)置于所述填料腔體上；

所述填料腔體用于存放蒸鍍材料；

所述感應(yīng)機(jī)構(gòu)用于感應(yīng)蒸鍍材料的重量變化。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述蒸鍍裝置包括坩堝以及加熱源，所述坩堝設(shè)置于所述加熱源上，所述加熱源用于加熱所述坩堝。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸以及支撐桿，所述支撐桿一端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接，所述支撐桿另一端與所述填料腔體可拆卸連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述填料裝置還包括壓縮部件，所述壓縮部件設(shè)置于所述填料腔體內(nèi)，所述壓縮部件用于壓縮所述填料腔體內(nèi)的蒸鍍材料。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述蒸鍍?cè)O(shè)備還包括控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)用于控制所述蒸鍍?cè)O(shè)備的運(yùn)行；

所述感應(yīng)機(jī)構(gòu)包括彈性元件、電阻應(yīng)變片、測(cè)量電路以及傳輸電纜；