[實用新型]一種蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202021523780.5
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN212864945U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 鄭沂;林志斌
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 黃以琳;張忠波

1.一種蒸鍍設備，其特征在于：包括蒸鍍腔體、蒸鍍裝置、填料裝置以及旋轉機構；

所述蒸鍍裝置、所述填料裝置分別設置于所述蒸鍍腔體內，所述填料裝置設置于所述蒸鍍裝置的一側，所述旋轉機構與所述填料裝置可拆卸連接；

所述蒸鍍裝置用于蒸鍍蒸鍍材料；

所述填料裝置用于向所述蒸鍍裝置提供蒸鍍材料；

所述旋轉機構用于將所述填料裝置旋轉至所述蒸鍍裝置上方；

所述填料裝置包括填料腔體、感應機構以及出料開關；

所述感應機構設置于所述填料腔體的內壁上，所述出料開關設置于所述填料腔體上；

所述填料腔體用于存放蒸鍍材料；

所述感應機構用于感應蒸鍍材料的重量變化。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述蒸鍍裝置包括坩堝以及加熱源，所述坩堝設置于所述加熱源上，所述加熱源用于加熱所述坩堝。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述旋轉機構包括旋轉軸以及支撐桿，所述支撐桿一端與所述旋轉軸連接，所述支撐桿另一端與所述填料腔體可拆卸連接。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述填料裝置還包括壓縮部件，所述壓縮部件設置于所述填料腔體內，所述壓縮部件用于壓縮所述填料腔體內的蒸鍍材料。

5.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述蒸鍍設備還包括控制機構，所述控制機構用于控制所述蒸鍍設備的運行；

所述感應機構包括彈性元件、電阻應變片、測量電路以及傳輸電纜；

所述彈性元件與所述電阻應變片連接，所述電阻應變片與所述測量電路電連接，所述測量電路與所述傳輸電纜電連接，所述傳輸電纜與所述控制機構電連接。

6.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述填料裝置還包括出料口以及伸縮管，所述出料口位于所述出料開關上，所述伸縮管與所述出料口連接。

7.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述蒸鍍設備還包括換料腔體以及控制開關；

所述換料腔體與所述蒸鍍腔體連通，所述控制開關設置于所述換料腔體與所述蒸鍍腔體的連通處；

所述控制開關用于連通所述換料腔體與所述蒸鍍腔體；或

所述控制開關用于隔離所述換料腔體與所述蒸鍍腔體。

8.根據權利要求7所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述蒸鍍設備還包括抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述換料腔體連接。

9.根據權利要求7所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述填料裝置有兩個以上，兩個以上所述填料裝置分別設置于所述蒸鍍腔體內。

10.根據權利要求9所述的蒸鍍設備，其特征在于：所述蒸鍍設備還包括兩個以上移動機構，兩個以上所述移動機構分別設置于所述蒸鍍腔體以及所述換料腔體內，兩個以上所述移動機構分別對應用于移動兩個以上所述填料裝置。