[實用新型]一種三真空腔曝光夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021515079.9
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN212623569U
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭翔宇
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙邁博光電有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B25B11/00
• 代理公司: 安化縣梅山專利事務(wù)所 43005
• 代理人: 潘訪華

本實用新型公開了一種三真空腔曝光夾具，由母板組裝件和基片組裝件通過重載合頁連接，母板組裝件包括母板底座、卡板座、限位壓塊、吸附膠塊和母板，母板底座的內(nèi)側(cè)依次設(shè)有卡板座、限位壓塊，限位壓塊內(nèi)側(cè)與所述母板底座之間的空間形成真空腔Ⅰ，母板底座上開設(shè)有與真空腔Ⅰ相連通的真空口Ⅰ，限位壓塊上開設(shè)有凹槽，凹槽上墊設(shè)有吸附膠塊，所述吸附膠塊上方設(shè)有母板；基片組裝件的結(jié)構(gòu)原理與母板組裝件類似，母板與基片在重載合頁合上時形成真空腔Ⅲ，母板底座上開設(shè)有與真空腔Ⅲ相連通的真空口Ⅲ。本實用新型提供的一種三真空腔曝光夾具，能有效、快速地實現(xiàn)母板和基片的上料、下料和對準。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種夾具，尤其是一種三真空腔曝光夾具。

背景技術(shù)

目前在曝光夾具領(lǐng)域，還沒有一種簡單便捷的結(jié)構(gòu)設(shè)計，能使母板和基片能實現(xiàn)快速地組裝和拆卸。

實用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種三真空腔曝光夾具。

本實用新型的技術(shù)方案為：一種三真空腔曝光夾具，由母板組裝件和基片組裝件通過重載合頁連接，所述母板組裝件包括母板底座、卡板座、限位壓塊、吸附膠塊和母板，所述母板底座的內(nèi)側(cè)依次設(shè)有卡板座、限位壓塊，所述限位壓塊內(nèi)側(cè)與所述母板底座之間的空間形成真空腔Ⅰ，所述母板底座上開設(shè)有與真空腔Ⅰ相連通的真空口Ⅰ，所述限位壓塊上開設(shè)有凹槽，所述凹槽上墊設(shè)有吸附膠塊，所述吸附膠塊上方設(shè)有母板；所述基片組裝件包括基片底座、卡板座、限位壓塊、吸附膠塊和基片，所述基片底座的內(nèi)側(cè)依次設(shè)有卡板座、限位壓塊，所述限位壓塊內(nèi)側(cè)與所述基片底座之間的空間形成真空腔Ⅱ，所述基片底座上開設(shè)有與真空腔Ⅱ相連通的真空口Ⅱ，所述限位壓塊上開設(shè)有凹槽，所述凹槽上墊設(shè)有吸附膠塊，所述吸附膠塊上方設(shè)有基片，所述母板與基片在重載合頁合上時形成真空腔Ⅲ，所述母板底座上開設(shè)有與真空腔Ⅲ相連通的真空口Ⅲ。

優(yōu)選地，所述凹槽為4個，4個凹槽均勻分布在所述限位壓塊上。

優(yōu)選地，所述吸附膠塊為4個。

優(yōu)選地，所述母板底座上設(shè)有蓋板壓塊，此蓋板壓塊內(nèi)側(cè)設(shè)有玻璃蓋板。

優(yōu)選地，所述基片底座上設(shè)有蓋板壓塊，此蓋板壓塊內(nèi)側(cè)設(shè)有玻璃蓋板。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下有益效果：本實用新型提供的一種三真空腔曝光夾具，通過三個真空腔，能有效、快速地實現(xiàn)母板和基片的組裝和拆卸。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型的原理結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖以及具體實施方式，對本實用新型做進一步說明。

如圖1至圖2所示，一種三真空腔曝光夾具，本曝光夾具由母板組裝件和基片組裝件通過重載合頁15連接。

其中母板組裝件包括蓋板壓塊1、玻璃蓋板2、母板底座3、卡板座4、限位壓塊5、吸附膠塊16和母板7，此蓋板壓塊1內(nèi)側(cè)設(shè)有玻璃蓋板2，此蓋板壓塊1上設(shè)有母板底座3。母板底座3的內(nèi)側(cè)依次設(shè)有卡板座4、限位壓塊5，限位壓塊5內(nèi)側(cè)與母板底座3之間的空間形成真空腔Ⅰ6，母板底座3上開設(shè)有與真空腔Ⅰ6相連通的真空口Ⅰ14，限位壓塊5上開設(shè)有4個凹槽，4個凹槽在限位壓塊5四周均勻分布，4個凹槽上均墊設(shè)有吸附膠塊16，吸附膠塊16上方設(shè)有母板7。