[實用新型]一種三真空腔曝光夾具有效
| 申請號： | 202021515079.9 | 申請日： | 2020-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN212623569U | 公開（公告）日： | 2021-02-26 |
| 發明（設計）人： | 郭翔宇 | 申請（專利權）人： | 長沙邁博光電有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;B25B11/00 |
| 代理公司： | 安化縣梅山專利事務所 43005 | 代理人： | 潘訪華 |
| 地址： | 410000 湖南省長沙市經濟技術開發區*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 空腔 曝光 夾具 | ||
1.一種三真空腔曝光夾具，其特征在于：由母板組裝件和基片組裝件通過重載合頁連接，所述母板組裝件包括母板底座、卡板座、限位壓塊、吸附膠塊和母板，所述母板底座的內側依次設有卡板座、限位壓塊，所述限位壓塊內側與所述母板底座之間的空間形成真空腔Ⅰ，所述母板底座上開設有與真空腔Ⅰ相連通的真空口Ⅰ，所述限位壓塊上開設有凹槽，所述凹槽上墊設吸附膠塊，所述吸附膠塊上方設有母板；所述基片組裝件包括基片底座、卡板座、限位壓塊、吸附膠塊和基片，所述基片底座的內側依次設有卡板座、限位壓塊，所述限位壓塊內側與所述基片底座之間的空間形成真空腔Ⅱ，所述基片底座上開設有與真空腔Ⅱ相連通的真空口Ⅱ，所述限位壓塊上開設有凹槽，所述凹槽上墊設有吸附膠塊，所述吸附膠塊上方設有基片，所述母板與基片在重載合頁合上時形成真空腔Ⅲ，所述母板底座上開設有與真空腔Ⅲ相連通的真空口Ⅲ。
2.根據權利要求1所述的一種三真空腔曝光夾具，其特征在于：所述凹槽為4個，4個凹槽均勻分布在所述限位壓塊上。
3.根據權利要求2所述的一種三真空腔曝光夾具，其特征在于：所述吸附膠塊為4個。
4.根據權利要求1所述的一種三真空腔曝光夾具，其特征在于：所述母板底座上設有蓋板壓塊，此蓋板壓塊內側設有玻璃蓋板。
5.根據權利要求1所述的一種三真空腔曝光夾具，其特征在于：所述基片底座上設有蓋板壓塊，此蓋板壓塊內側設有玻璃蓋板。
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