[實(shí)用新型]鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021509116.5
• 申請(qǐng)日: 2020-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN213417009U
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宗堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇菲沃泰納米科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;C23C16/455
• 代理公司: 寧波理文知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33244
• 代理人: 羅京;王麗芳

1.鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括：

一鍍膜裝置，所述鍍膜裝置用于通過等離子體氣相沉積的方式形成膜層；

一原料氣化裝置，所述原料氣化裝置用于為所述鍍膜設(shè)備提供氣化原料，所述原料氣化裝置包括：

一第一級(jí)氣化部件，所述第一級(jí)氣化部件用于將送入的原料進(jìn)行初級(jí)氣化；

一第二級(jí)氣化部件，所述第二級(jí)氣化部件用于將第一級(jí)氣化部件初級(jí)氣化后的原料進(jìn)一步氣化；和

一進(jìn)料控制部，其中所述進(jìn)料控制部用于送入需要被氣化的原料，所述進(jìn)料控制部控制地連通所述第一級(jí)氣化部件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜設(shè)備，其中所述進(jìn)料控制部的進(jìn)料方向大致沿豎直的方向，所述第一級(jí)氣化部件和所述第二級(jí)氣化部件大致沿水平方向布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜設(shè)備，其中所述進(jìn)料控制部包括一第一進(jìn)料嘴、一組控制閥和一組進(jìn)料管，所述第一進(jìn)料嘴、所述一組控制閥和所述一組進(jìn)料管通過所述一組控制閥可控制地連通形成一進(jìn)料通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鍍膜設(shè)備，其中所述進(jìn)料通道大致沿豎直方向。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鍍膜設(shè)備，其中所述一組控制閥包括一第一控制閥和一第二控制閥，所述第一控制閥和所述第一進(jìn)料嘴連接，所述第二控制閥通過一進(jìn)料管連接所述第一控制閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一控制閥是一隔膜閥，所述第二控制閥是一三通閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一級(jí)氣化部件包括一第一氣化箱，所述第一氣化箱具有一預(yù)熱腔和一第一加熱腔，所述預(yù)熱腔和所述第一加熱腔部分地連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一氣化箱具有一第一入口，所述第一入口連通所述預(yù)熱腔，所述進(jìn)料控制部連接于所述第一入口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一氣化箱具有一局部連通通道，所述局部連通通道布局連通所述預(yù)熱腔和所述第一加熱腔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一入口和所述局部連通通道錯(cuò)位地設(shè)置。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鍍膜設(shè)備，其中所述預(yù)熱腔和所述第一加熱腔沿豎向并列地設(shè)置。

12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一級(jí)氣化部件包括一組加熱件，所述一組加熱件包括一預(yù)熱件和一第一加熱件，所述預(yù)熱件為所述預(yù)熱腔加熱，所述第一加熱件為所述第一加熱腔加熱，所述預(yù)熱件和所述第一加熱件相互獨(dú)立地加熱。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一氣化箱具有一第一出口，所述第一出口連通所述第一加熱腔，所述第一出口與所述局部連通通道相對(duì)側(cè)地設(shè)置。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一入口的位置高于所述第一出口的位置。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一氣化箱包括一第一主體和一第一蓋體，所述第一蓋體可拆卸地連接于所述第一主體，所述第一蓋體和所述第一主體相接形成所述預(yù)熱腔和所述第一加熱腔。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一氣化箱包括第一密封件，所述第一密封件被設(shè)置于所述第一蓋體和所述第一主體相接的位置。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的鍍膜設(shè)備，其中所述第一主體包括一間隔壁，將所述第一主體內(nèi)部分隔為兩個(gè)空間。