[實用新型]一種防漏氣拉動式引弧裝置

有效

• 申請號: 202021505789.3
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN212610874U
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 鄧超;陳剛
• 申請（專利權）人: 成都極星等離子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 成都樂易聯創專利代理有限公司 51269
• 代理人: 張銳

本實用新型公開了一種防漏氣拉動式引弧裝置，包括氣缸、連接法蘭、絕緣法蘭、延長桿、定位座和引弧針，還包括波紋管密封件，所述波紋管密封件包括波紋管管體、密封端蓋和密封端頭，所述波紋管管體貫穿真空室腔壁，一端位于真空室內并連接有密封端頭，另一端位于真空室外并連接有密封端蓋，所述密封端蓋靠近密封端頭的一側與絕緣法蘭連接，另一側與連接法蘭連接，所述氣缸固定在連接法蘭遠離密封端蓋的一側，氣缸的活塞桿穿入波紋管管體內，并與密封端頭固定連接，所述密封端頭遠離氣缸的一端與延長桿固定連接，延長桿與定位座連接，所述定位座上安裝有引弧針。本實用新型通過增設波紋管密封件，有效延長了設備的整體平均無故障工作時間。

技術領域

本實用新型屬于真空離子鍍膜設備技術領域，具體涉及一種防漏氣拉動式引弧裝置。

背景技術

陰極弧靶是PVD涂層設備中常用的離子源，在較低的電壓和較大的電流下工作，這意味著陰極弧靶的每次啟動都需要用引弧針接近到陰極靶面誘發低電壓高電流的真空弧斑放電，弧斑產生后，引弧針需要遠離靶面，使弧斑放電不再被引弧針誘導電場約束，只在靶面磁場約束下在弧靶面隨機漫步漂移，進入穩定工作狀態，這意味著引弧針的運動在整個PVD涂層設備的使用生命周期內都會頻繁的使用。

現有的引弧裝置中，氣缸固定在氣缸連接法蘭上和絕緣法蘭直接相連接，然后在通過螺栓將其固定在真空室壁上，氣缸桿直接傳入到真空腔體內，前端連接氣缸延長桿及引弧針構成引弧裝置。這種結構存在的問題是氣缸與真空的隔絕靠的是氣動氣缸與氣缸活塞間的密封膠圈。氣動氣缸本身的密封機制是針對壓縮空氣密封設計的，相對真空系統而言是不可靠的。當引弧裝置長時間使用后，活塞桿反復拉動時，氣缸內的壓縮空氣容易穿透密封圈進入真空環境，這樣會導致兩個問題：

(1)由于真空離子鍍膜設備上有多個引弧裝置存在，這極大的增加了漏氣概率和出現多漏點故障，問題排查困難；

(2)當引弧裝置工作時，也就意味著設備鍍膜的開始，這時由于氣缸在動作時帶入了微量的空氣將直接影響鍍膜產品的品質。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題便是針對上述現有技術的不足，提供一種防漏氣拉動式引弧裝置，它能夠將氣缸與真空側進行隔絕，同時還能保證正常的引弧工作。

本實用新型所采用的技術方案是：一種防漏氣拉動式引弧裝置，包括氣缸、連接法蘭、絕緣法蘭、延長桿、定位座和引弧針，還包括波紋管密封件，所述波紋管密封件包括波紋管管體、密封端蓋和密封端頭，所述波紋管管體貫穿真空室腔壁，所述波紋管管體位于真空室內的一端密封連接有密封端頭，位于真空室外的一端連接有密封端蓋，所述密封端蓋靠近密封端頭的一側與絕緣法蘭連接，另一側與連接法蘭連接，所述連接法蘭、密封端蓋和絕緣法蘭通過鎖緊螺釘固定在真空室的外壁，所述氣缸固定在連接法蘭遠離密封端蓋的一側，氣缸的活塞桿穿入波紋管管體內，并與密封端頭固定連接，所述密封端頭遠離氣缸的一端與延長桿固定連接，延長桿遠離延長桿的端部與定位座連接，所述定位座上安裝有引弧針。

作為優選，所述鎖緊螺釘上還套裝有絕緣套。

作為優選，所述絕緣法蘭與真空室腔壁的連接處設有真空密封膠圈，所述絕緣法蘭與密封端蓋的連接處也設有真空密封膠圈。

本實用新型通過增設波紋管密封件，利用了真空密閉波紋管管體的彈性伸縮來適應引弧針隨氣缸活塞桿的運動，同時長期保證了極佳的真空密閉性能，能夠有效地消除PVD設備中常見的真空漏點，降低了設備的維護難度，并有效延長了設備的整體平均無故障工作時間。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、氣缸；2、連接法蘭；3、絕緣法蘭；4、延長桿；5、定位座；6、引弧針；7、波紋管管體；8、密封端蓋；9、密封端頭；10、絕緣套；11、真空密封膠圈；12、真空室腔壁。

具體實施方式