[實用新型]一種防漏氣拉動式引弧裝置

有效

• 申請號: 202021505789.3
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN212610874U
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 鄧超;陳剛
• 申請（專利權）人: 成都極星等離子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 成都樂易聯創專利代理有限公司 51269
• 代理人: 張銳

1.一種防漏氣拉動式引弧裝置，包括氣缸(1)、連接法蘭(2)、絕緣法蘭(3)、延長桿(4)、定位座(5)和引弧針(6)，其特征在于：還包括波紋管密封件，所述波紋管密封件包括波紋管管體(7)、密封端蓋(8)和密封端頭(9)，所述波紋管管體(7)貫穿真空室腔壁(12)，所述波紋管管體(7)位于真空室內的一端密封連接有密封端頭(9)，位于真空室外的一端連接有密封端蓋(8)，所述密封端蓋(8)靠近密封端頭(9)的一側與絕緣法蘭(3)連接，另一側與連接法蘭(2)連接，所述連接法蘭(2)、密封端蓋(8)和絕緣法蘭(3)通過鎖緊螺釘固定在真空室的外壁，所述氣缸(1)固定在連接法蘭(2)遠離密封端蓋(8)的一側，氣缸(1)的活塞桿穿入波紋管管體(7)內，并與密封端頭(9)固定連接，所述密封端頭(9)遠離氣缸(1)的一端與延長桿(4)固定連接，延長桿(4)遠離延長桿(4)的端部與定位座(5)連接，所述定位座(5)上安裝有引弧針(6)。

2.根據權利要求1所述的一種防漏氣拉動式引弧裝置，其特征在于：所述鎖緊螺釘上還套裝有絕緣套(10)。

3.根據權利要求1或2所述的一種防漏氣拉動式引弧裝置，其特征在于：所述絕緣法蘭(3)與真空室腔壁(12)的連接處設有真空密封膠圈(11)，所述絕緣法蘭(3)與密封端蓋(8)的連接處也設有真空密封膠圈(11)。