[實用新型]托盤機構及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202021383566.4
• 申請日: 2020-07-14
• 公開（公告）號: CN212983040U
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 李浩永;曹景博;蔡瑞芝;李燦;吳相;韓冰融
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 李琴

本實用新型涉及蒸鍍技術領域,公開了一種托盤機構及蒸鍍設備,該托盤機構包括托盤本體；滾輪，滾輪用于帶動托盤沿第一方向移動；收集裝置，收集裝置與托盤本體連接，收集裝置包括第一收集部，第一收集部在支撐面所在平面的正投影完全覆蓋滾輪在支撐面所在平面的正投影。當利用In line方式進行蒸鍍時，顆粒物在自身重力的作用下會向位于滾輪下方的第一收集部移動，最終落在第一收集部上，大大減少了顆粒物附著至玻璃基板表面的現象，有效減少了OLED面板出現暗點的情況。另外，由于收集裝置與托盤本體連接，則當托盤本體移動時，收集裝置也會隨之移動，能夠做到對顆粒物的實時收集，進一步保障顆粒物收集的效率。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍的技術領域，尤其是涉及一種托盤機構及蒸鍍設備。

背景技術

為提高大尺寸玻璃基板在有機發光二級管(OLED)基礎上進行高分辨率的移動顯示，蒸鍍設備及其相關的技術手段的開發越來越被的大型TV及照明產品的生產廠家重視。

OLED TV領域目前主流使用的是WOLED(白光OLED)生產的OLED TV，此方式在白光基礎上進行發光，使用開放式掩膜版以In line方式生產面板已經成為標準化流程。Inline方式指的是：需要蒸鍍物質的蒸發源位于蒸鍍腔室下部，玻璃基板與開放式掩膜版貼合放置在托盤上，通過滾輪帶動托盤這種機械性驅動的方式移動，從而進行蒸鍍。

但是，現有技術中利用In line方式進行蒸鍍時，玻璃基板和開放式掩膜版以貼合形態設置在托盤上面進行移送，滾輪與托盤發生接觸，因此會發生機械性摩擦，導致金屬性顆粒的生成；又由于蒸鍍時很大概率會在滾輪上形成有機層，會導致有機物顆粒的生成，當這些顆粒在蒸鍍腔室內漂浮，并附著到玻璃基板表面時，很容易使OLED面板出現暗點，從而導致面板發光效率低，使面板的性能和壽命受到影響。

實用新型內容

本實用新型提供了一種托盤機構，上述托盤機構大大減少了顆粒物附著至玻璃基板表面的現象，且能夠做到對顆粒物的實時收集，進一步保障顆粒物收集的效率，從而有效減少OLED面板出現暗點的情況。

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種托盤機構，包括托盤本體，托盤本體具有支撐面，支撐面用于支撐玻璃基板和開放式掩膜版；滾輪，滾輪用于帶動托盤沿第一方向移動，第一方向與支撐面平行；收集裝置，收集裝置與托盤本體連接，收集裝置包括第一收集部，第一收集部在支撐面所在平面的正投影完全覆蓋滾輪在支撐面所在平面的正投影。

本實用新型提供的托盤機構，當利用In line方式進行蒸鍍，滾輪與托盤本體發生機械性摩擦而產生金屬性顆粒和有機物顆粒等顆粒物時，顆粒物在自身重力的作用下會向位于滾輪下方的第一收集部移動，最終落在第一收集部上；又由于第一收集部在支撐面所在平面的正投影完全覆蓋滾輪在支撐面所在平面的正投影，也就是說，第一收集部的覆蓋面積能夠滿足：第一收集部能夠聚積由滾輪與托盤本體摩擦生成的顆粒物。

這種設置方式，在利用In line方式進行蒸鍍時產生的顆粒物均能夠聚集在第一收集部上，大大減少了顆粒物附著至玻璃基板表面的現象，有效減少了OLED面板出現暗點的情況，從而保障了OLED面板的性能和壽命。另外，由于收集裝置與托盤本體連接，則當托盤本體移動時，收集裝置也會隨之移動，能夠做到對顆粒物的實時收集，進一步保障顆粒物收集的效率。

可選地，收集裝置還包括第二收集部，第二收集部位于第一收集部朝向托盤本體的一側、且與第一收集部的第一側邊連接；第一收集部與第二收集部垂直，第二收集部與托盤本體連接。

可選地，第一收集部和第二收集部均設置有磁石；

可選地，第二收集部與托盤本體鉸接；收集裝置能夠由第一狀態轉動至第二狀態；當收集裝置處于第一狀態時：第一收集部與支撐面平行，第二收集部與支撐面垂直；當收集裝置處于第二狀態時：第一收集部與支撐面垂直，第二收集部與支撐面平行。