[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021308618.1
• 申請(qǐng)日: 2020-07-07
• 公開（公告）號(hào): CN212770944U
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賀鵬博;周帆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南鎧欣新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 長(zhǎng)沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 黃藝平

本實(shí)用新型提供一種化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)。化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)，包括：爐體；插孔，所述插孔開設(shè)在爐體的一側(cè)上；熱電偶，所述熱電偶滑動(dòng)安裝在插孔內(nèi)，所述熱電偶的一端延伸至爐體外；兩個(gè)方塊，兩個(gè)所述方塊均固定安裝在爐體的一側(cè)上；兩個(gè)裝孔，兩個(gè)所述裝孔分別開設(shè)在兩個(gè)所述方塊相互靠近的一側(cè)上；兩個(gè)弧形塊，兩個(gè)所述弧形塊均設(shè)在兩個(gè)所述方塊之間，兩個(gè)所述弧形塊相適配；兩個(gè)定塊，兩個(gè)所述定塊分別固定安裝在對(duì)應(yīng)的所述弧形塊上。本實(shí)用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)具有使用方便、便于對(duì)熱電偶進(jìn)行安裝跟換，保證熱電偶連接的穩(wěn)定連接性的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積是一種化工技術(shù)，該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法。化學(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來(lái)的制備無(wú)機(jī)材料的新技術(shù)，化學(xué)氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無(wú)機(jī)薄膜材料，化學(xué)氣相沉積爐是專門用于反映的設(shè)備，為了便于爐內(nèi)溫度進(jìn)行檢測(cè)控制，通常會(huì)在化學(xué)氣相沉積爐上都會(huì)安裝熱電偶直接測(cè)量溫度，并把溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換成熱電動(dòng)勢(shì)信號(hào)，通過(guò)電氣儀表轉(zhuǎn)換成被測(cè)介質(zhì)的溫度。

傳統(tǒng)的，化學(xué)氣相沉積爐上的熱電偶多為固定安裝，但是熱電偶一旦發(fā)生損壞需要進(jìn)行更換時(shí)操作就會(huì)極為不便，在對(duì)熱電偶安裝的過(guò)程中無(wú)法保證爐體與熱電偶之間的連接性和爐體的密封性。

因此，有必要提供一種化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)解決上述技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種使用方便、便于對(duì)熱電偶進(jìn)行安裝跟換，保證熱電偶連接的穩(wěn)定連接性的化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)，包括：爐體；插孔，所述插孔開設(shè)在爐體的一側(cè)上；熱電偶，所述熱電偶滑動(dòng)安裝在插孔內(nèi)，所述熱電偶的一端延伸至爐體外；兩個(gè)方塊，兩個(gè)所述方塊均固定安裝在爐體的一側(cè)上；兩個(gè)裝孔，兩個(gè)所述裝孔分別開設(shè)在兩個(gè)所述方塊相互靠近的一側(cè)上；兩個(gè)弧形塊，兩個(gè)所述弧形塊均設(shè)在兩個(gè)所述方塊之間，兩個(gè)所述弧形塊相適配；兩個(gè)定塊，兩個(gè)所述定塊分別固定安裝在對(duì)應(yīng)的所述弧形塊上；兩個(gè)轉(zhuǎn)桿，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿分別轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋安裝在對(duì)應(yīng)的所述方塊上，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿的一端分別與對(duì)應(yīng)的所述定塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接；四個(gè)L桿，四個(gè)所述L桿分別固定安裝在兩個(gè)所述裝孔的內(nèi)壁上，四個(gè)所述L桿呈矩形列陣分布；四個(gè)條桿，四個(gè)所述條桿分別滑動(dòng)安裝在對(duì)應(yīng)的所述L桿上，四個(gè)所述分別與對(duì)應(yīng)的所述弧形塊固定連接；四個(gè)運(yùn)動(dòng)槽，四個(gè)所述運(yùn)動(dòng)槽分別開設(shè)在對(duì)應(yīng)的所述條桿上，四個(gè)所述L桿分別在對(duì)應(yīng)的所述運(yùn)動(dòng)槽內(nèi)滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選的，所述爐體的底部固定安裝有四個(gè)支起腳，四個(gè)所述支起腳呈矩形列陣分布。

優(yōu)選的，兩個(gè)所述方塊上均開設(shè)有條狀槽，兩個(gè)所述條狀槽的內(nèi)壁上均設(shè)有內(nèi)螺紋，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿上均設(shè)有外螺紋，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿分別與對(duì)用的所述條狀槽螺紋連接，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿相互遠(yuǎn)離的一端均固定安裝有手調(diào)轉(zhuǎn)塊，兩個(gè)所述弧形塊的一側(cè)均固定安裝有密封塊，兩個(gè)所述密封塊均與插孔相適配。

優(yōu)選的，所述爐體的一側(cè)固定安裝有撐板，所述撐板上設(shè)有兩個(gè)轉(zhuǎn)軸。

優(yōu)選的，所述撐板的頂部固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸與對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)軸的一端固定連接，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)軸上均固定套設(shè)有齒輪，兩個(gè)所述齒輪相嚙合。

優(yōu)選的，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)軸上均焊接有連桿，兩個(gè)所述連桿上均固定安裝有夾塊，兩個(gè)所述夾塊均與熱電偶相適配，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)軸均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在撐板上，所述撐板上固定安裝有兩個(gè)支撐塊，兩個(gè)所述支撐塊分別與對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

與相關(guān)技術(shù)相比較，本實(shí)用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐熱電偶密封安裝機(jī)構(gòu)具有如下有益效果：