[實用新型]一種化學氣相沉積爐熱電偶密封安裝機構

有效

• 申請號: 202021308618.1
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN212770944U
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 賀鵬博;周帆
• 申請（專利權）人: 湖南鎧欣新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 黃藝平

1.一種化學氣相沉積爐熱電偶密封安裝機構，其特征在于，包括：

爐體；

插孔，所述插孔開設在爐體的一側上；

熱電偶，所述熱電偶滑動安裝在插孔內，所述熱電偶的一端延伸至爐體外；

兩個方塊，兩個所述方塊均固定安裝在爐體的一側上；

兩個裝孔，兩個所述裝孔分別開設在兩個所述方塊相互靠近的一側上；

兩個弧形塊，兩個所述弧形塊均設在兩個所述方塊之間，兩個所述弧形塊相適配；

兩個定塊，兩個所述定塊分別固定安裝在對應的所述弧形塊上；

兩個轉桿，兩個所述轉桿分別轉動螺紋安裝在對應的所述方塊上，兩個所述轉桿的一端分別與對應的所述定塊轉動連接；

四個L桿，四個所述L桿分別固定安裝在兩個所述裝孔的內壁上，四個所述L桿呈矩形列陣分布；

四個條桿，四個所述條桿分別滑動安裝在對應的所述L桿上，四個所述分別與對應的所述弧形塊固定連接；

四個運動槽，四個所述運動槽分別開設在對應的所述條桿上，四個所述L桿分別在對應的所述運動槽內滑動運動。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐熱電偶密封安裝機構，其特征在于，所述爐體的底部固定安裝有四個支起腳，四個所述支起腳呈矩形列陣分布。

3.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐熱電偶密封安裝機構，其特征在于，兩個所述方塊上均開設有條狀槽，兩個所述條狀槽的內壁上均設有內螺紋，兩個所述轉桿上均設有外螺紋，兩個所述轉桿分別與對用的所述條狀槽螺紋連接，兩個所述轉桿相互遠離的一端均固定安裝有手調轉塊，兩個所述弧形塊的一側均固定安裝有密封塊，兩個所述密封塊均與插孔相適配。

4.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐熱電偶密封安裝機構，其特征在于，所述爐體的一側固定安裝有撐板，所述撐板上設有兩個轉軸。

5.根據權利要求4所述的化學氣相沉積爐熱電偶密封安裝機構，其特征在于，所述撐板的頂部固定安裝有電機，所述電機的輸出軸與對應的所述轉軸的一端固定連接，兩個所述轉軸上均固定套設有齒輪，兩個所述齒輪相嚙合。

6.根據權利要求4所述的化學氣相沉積爐熱電偶密封安裝機構，其特征在于，兩個所述轉軸上均焊接有連桿，兩個所述連桿上均固定安裝有夾塊，兩個所述夾塊均與熱電偶相適配，兩個所述轉軸均轉動安裝在撐板上，所述撐板上固定安裝有兩個支撐塊，兩個所述支撐塊分別與對應的所述轉軸轉動連接。