[實用新型]常壓化學氣相沉積機用快速夾具

有效

• 申請號: 202021305991.1
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN212955337U
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 劉招林
• 申請（專利權）人: 無錫柏斯威科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 無錫大揚專利事務所(普通合伙) 32248
• 代理人: 郭豐海

本實用新型涉及一種常壓化學氣相沉積機用快速夾具。其特點是包括外、內支架。外、內支架均為U形架。外、內支架橫部上邊分別有外、內折邊，它們下邊均有豁口。外支架的兩個豎部外側均有力臂。力臂的一個同端均鉸接在外支架的兩個豎部的根部，另一個同端間連有手柄。內支架的豎部內側均有連桿，連桿兩端和內支架的豎部根部均有銷孔，外支架的豎部中間均有第一腰形孔，連桿一端的銷孔、內支架豎部根部的銷孔和第一腰形孔間連有第二銷軸。力臂中間有銷孔，該銷孔與同側的連桿另一端的銷孔間連有第三銷軸。外、內支架豎部的鄰近外邊處分別有銷孔和第二腰形孔，銷孔與第二腰形孔間有第四銷軸。這種夾具，便于操作、不燙手，生產效率高。

技術領域

本實用新型涉及一種夾具。具體說，是用來實現常壓式化學氣相沉積機的排氣盒與輸出管間快速連接或脫開的夾具。

背景技術

在半導體晶圓生產行業都知道，常壓式化學氣相沉積機在運行過程中會產生廢氣，這些廢氣必須實時排除，才能保證常壓式化學氣相沉積機的正常運行。因此，常壓式化學氣相沉積機上都配有由排氣盒和排氣管構成的排氣機構。隨著常壓式化學氣相沉積機運行時間的增加，用于排除廢氣的排氣盒內的粉灰會越積越多，如不及時排除，這些粉塵會堵塞排氣盒的輸出管，因此，常壓式化學氣相沉積機每運行一天即24小時，就需使排氣盒與輸出管間脫開，對排氣盒內的粉塵進行清除。目前，排氣盒的輸出管口和排氣管的連接端管口間的連接都是采用在二者中的一個管口上設置抱箍，連接時，采用手工將一個管口上的抱箍套在另一個管口上并旋緊抱箍的螺釘。當需排氣盒與輸出管間脫開時，又需采用手工旋松螺釘松開抱箍，操作起來比較麻煩，生產效率低。又由于運行后的排氣盒附近溫度較高，采用手工操作來松開抱箍，容易燙手。

實用新型內容

本實用新型要解決的問題是提供一種常壓式化學沉積機用快速夾具。這種夾具，便于操作，不燙手。采用這種夾具，可提高生產效率。

本實用新型要解決的上述問題有以下技術方案實現：

本實用新型的常壓化學氣相沉積機用快速夾具特點是：包括外支架和內支架，所述外、內支架均是用近似長方形平板彎折而成的U形架，內支架呈同向活動狀套入外支架內。外支架和內支架的橫部上邊分別有外折邊和內折邊，它們的下邊均有相對應的豁口。外支架的兩個豎部外側均有力臂。所述力臂為板條狀，它們的一個同端均借助第一銷軸鉸接在外支架的兩個豎部的根部，它們的另一個同端間連有手柄。內支架的豎部內側均有連桿，連桿兩端和內支架的豎部根部均有銷孔，外支架的豎部中間均有第一腰形孔，同側的連桿一端的銷孔、內支架豎部的根部銷孔和外支架豎部中間的第一腰形孔間連有第二銷軸。力臂的中間有銷孔，該銷孔與同側的連桿另一端的銷孔間連有第三銷軸，連桿與力臂間的第三銷軸上套有支撐套。外支架的豎部鄰近外邊處和內支架的豎部鄰近外邊處分別有銷孔和第二腰形孔，所述銷孔與第二腰形孔間有第四銷軸。所述第一腰形孔和第二腰形孔的縱向中心線與外、內支架的豎部下邊平行且位于同一水平線上。

本實用新型的進一步改進方案是，外支架的豎部下邊外側面上有限位凸頭。所述限位凸頭的橫截面為矩形。

本實用新型的進一步改進方案是，兩個力臂遠離手柄的一端間的間距與外支架的豎部外側面間的間距相同，與第一腰形孔里端相應的力臂處有用于讓開第二銷軸外端的彎曲部，使得第一腰形孔之外的力臂與相應外支架的豎部間留有間距。