[實用新型]常壓化學氣相沉積機用快速夾具

有效

• 申請號: 202021305991.1
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN212955337U
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 劉招林
• 申請（專利權）人: 無錫柏斯威科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 無錫大揚專利事務所(普通合伙) 32248
• 代理人: 郭豐海

1.常壓化學氣相沉積機用快速夾具，其特征在于：包括外支架和內支架，所述外、內支架均是用近似長方形平板彎折而成的U形架，內支架呈同向活動狀套入外支架內；外支架和內支架的橫部上邊分別有外折邊和內折邊，它們的下邊均有相對應的豁口；外支架的兩個豎部外側均有力臂；所述力臂為板條狀，它們的一個同端均借助第一銷軸鉸接在外支架的兩個豎部的根部，它們的另一個同端間連有手柄； 內支架的豎部內側均有連桿，連桿兩端和內支架的豎部根部均有銷孔，外支架的豎部中間均有第一腰形孔，同側的連桿一端的銷孔、內支架豎部的根部銷孔和外支架豎部中間的第一腰形孔間連有第二銷軸；力臂的中間有銷孔，該銷孔與同側的連桿另一端的銷孔間連有第三銷軸，連桿與力臂間的第三銷軸上套有支撐套；外支架的豎部鄰近外邊處和內支架的豎部鄰近外邊處分別有銷孔和第二腰形孔，所述銷孔與第二腰形孔間有第四銷軸；所述第一腰形孔和第二腰形孔的縱向中心線與外、內支架的豎部下邊平行且位于同一水平線上。

2.根據權利要求1所述的常壓化學氣相沉積機用快速夾具，其特征在于：外支架的豎部下邊外側面上有限位凸頭。

3.根據權利要求2所述的常壓化學氣相沉積機用快速夾具，其特征在于：所述限位凸頭的橫截面為矩形。

4.根據權利要求1或2或3所述的常壓化學氣相沉積機用快速夾具，其特征在于：兩個力臂遠離手柄的一端間的間距與外支架的豎部外側面間的間距相同，與第一腰形孔里端相應的力臂處有用于讓開第二銷軸外端的彎曲部，使得第一腰形孔之外的力臂與相應外支架的豎部間留有間距。