[實用新型]一種碳化硅晶圓無塵存放裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021303712.8
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN213010074U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 莫景釗;葉緯;莫景新
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東唯是晶圓科技有限公司
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;B08B1/02;B08B1/00;B08B5/02
• 代理公司: 北京卓特專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11572
• 代理人: 段宇

本實用新型公開了一種碳化硅晶圓無塵存放裝置，包括第一輸送帶及存放室，第一輸送帶的上方設(shè)有毛刷輥及吹氣管，存放室內(nèi)設(shè)有第一升降輸送裝置及存放架，存放室設(shè)有進(jìn)入口，第一輸送帶通過進(jìn)入口與所述第一升降輸送裝置的一端連接，第一升降輸送裝置的另一端與存放架的一端連接，存放架設(shè)有若干個存放腔，升降輸送裝置可升降與存放腔連接，本實用新型可對晶圓進(jìn)行除塵輸送、無塵存放的碳化硅晶圓無塵存放裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶圓生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種碳化硅晶圓無塵存放裝置。

背景技術(shù)

在晶圓的生產(chǎn)過程中，不可避免地需要將晶圓進(jìn)行存放，通常的做法為直接將晶圓防止在存放架上，存放架裸露在空氣中，容易導(dǎo)致晶圓表面積累灰塵，影響后續(xù)的生產(chǎn)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種可對晶圓進(jìn)行除塵輸送、無塵存放的碳化硅晶圓無塵存放裝置。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案為：

一種碳化硅晶圓無塵存放裝置，包括第一輸送帶及存放室，所述第一輸送帶的上方設(shè)有毛刷輥及吹氣管，所述存放室內(nèi)設(shè)有第一升降輸送裝置及存放架，存放室設(shè)有進(jìn)入口，第一輸送帶通過所述進(jìn)入口與所述第一升降輸送裝置的一端連接，第一升降輸送裝置的另一端與所述存放架的一端連接，存放架設(shè)有若干個存放腔，升降輸送裝置可升降與所述存放腔連接。

本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述存放腔遠(yuǎn)離所述升降輸送裝置的一端設(shè)有可開閉的輸送門。

本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述存放室內(nèi)設(shè)有第二升降輸送裝置，所述第二升降輸送裝置設(shè)于所述存放架的另一端，所述存放腔內(nèi)設(shè)有第二輸送帶，所述第二輸送帶的兩端可分別與第一升降輸送裝置與第二升降輸送裝置連接。

本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述存放室內(nèi)設(shè)有第三輸送帶，所述第三輸送帶的一端與所述第二升降輸送裝置連接，存放室設(shè)有輸送口，第三輸送帶的另一端通過所述輸送口。

本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述升降輸送裝置包括機架、升降輸送帶及配重塊，所述升降輸送帶設(shè)于所述機架內(nèi)，所述配重塊設(shè)于機架的一側(cè)，機架的頂部設(shè)有電機，所述電機通過減速箱與轉(zhuǎn)動軸傳動連接，所述轉(zhuǎn)動軸的兩端設(shè)有鏈輪，所述鏈輪設(shè)有鏈條，所述鏈條的兩端分別與升降輸送帶及配重塊固定連接。

本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述存放室的側(cè)壁上設(shè)有正壓風(fēng)機，所述正壓風(fēng)機的進(jìn)風(fēng)口處設(shè)有過濾網(wǎng)。

本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述過濾網(wǎng)為電子濾網(wǎng)。

采用上述技術(shù)方案，存放架設(shè)于正壓的存放室內(nèi)，可有效防塵，升降輸送帶將晶圓輸送進(jìn)存放架存放，存放架設(shè)有若干個存放腔，升降輸送裝置可升降與存放腔連接，實現(xiàn)晶圓的自動輸送存放，存放腔遠(yuǎn)離升降輸送裝置的一端設(shè)有可開閉的輸送門，操作員可通過打開輸送門拿取晶圓；此外，可通過第二輸送帶將晶圓輸送至第二升降輸送裝置，實現(xiàn)自動化提取。

附圖說明

圖1為實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)示：1、第一輸送帶；2、存放室；3、毛刷輥；4、吹氣管；5、存放架；6、進(jìn)入口；7、存放腔；8、輸送門；9、第二升降輸送裝置；10、第二輸送帶；11、第三輸送帶；12、輸送口；13、機架；14、升降輸送帶；15、減速箱；16、轉(zhuǎn)動軸；17、鏈輪；18、鏈條；19、配重塊；20、正壓風(fēng)機。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進(jìn)一步說明。在此需要說明的是，對于這些實施方式的說明用于幫助理解本實用新型，但并不構(gòu)成對本實用新型的限定。此外，下面所描述的本實用新型各個實施方式中所涉及的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。