[實用新型]一種碳化硅晶圓無塵存放裝置

有效

• 申請號: 202021303712.8
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN213010074U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 莫景釗;葉緯;莫景新
• 申請（專利權）人: 廣東唯是晶圓科技有限公司
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;B08B1/02;B08B1/00;B08B5/02
• 代理公司: 北京卓特專利代理事務所(普通合伙) 11572
• 代理人: 段宇

1.一種碳化硅晶圓無塵存放裝置，其特征在于：包括第一輸送帶(1)及存放室(2)，所述第一輸送帶(1)的上方設有毛刷輥(3)及吹氣管(4)，所述存放室(2)內設有第一升降輸送裝置及存放架(5)，存放室(2)設有進入口(6)，第一輸送帶(1)通過所述進入口(6)與所述第一升降輸送裝置的一端連接，第一升降輸送裝置的另一端與所述存放架(5)的一端連接，存放架(5)設有若干個存放腔(7)，第一升降輸送裝置可升降與所述存放腔(7)連接。

2.根據權利要求1所述的碳化硅晶圓無塵存放裝置，其特征在于：所述存放腔(7)遠離所述升降輸送裝置的一端設有可開閉的輸送門(8)。

3.根據權利要求1所述的碳化硅晶圓無塵存放裝置，其特征在于：所述存放室(2)內設有第二升降輸送裝置(9)，所述第二升降輸送裝置(9)設于所述存放架(5)的另一端，所述存放腔(7)內設有第二輸送帶(10)，所述第二輸送帶(10)的兩端可分別與第一升降輸送裝置與第二升降輸送裝置(9)連接。

4.根據權利要求3所述的碳化硅晶圓無塵存放裝置，其特征在于：所述存放室(2)內設有第三輸送帶(11)，所述第三輸送帶(11)的一端與所述第二升降輸送裝置(9)連接，存放室(2)設有輸送口(12)，第三輸送帶(11)的另一端通過所述輸送口(12)。

5.根據權利要求1所述的碳化硅晶圓無塵存放裝置，其特征在于：所述第一升降輸送裝置包括機架(13)、升降輸送帶(14)及配重塊(19)，所述升降輸送帶(14)設于所述機架(13)內，所述配重塊(19)設于機架(13)的一側，機架(13)的頂部設有電機，所述電機通過減速箱(15)與轉動軸(16)傳動連接，所述轉動軸(16)的兩端設有鏈輪(17)，所述鏈輪(17)設有鏈條(18)，所述鏈條(18)的兩端分別與升降輸送帶(14)及配重塊(19)固定連接。

6.根據權利要求5所述的碳化硅晶圓無塵存放裝置，其特征在于：所述存放室(2)的側壁上設有正壓風機(20)，所述正壓風機(20)的進風口處設有過濾網。

7.根據權利要求6所述的碳化硅晶圓無塵存放裝置，其特征在于：所述過濾網為電子濾網。