[實用新型]一種涂布機臺有效
| 申請號： | 202021303523.0 | 申請日： | 2020-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN212302208U | 公開（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發明（設計）人： | 郭振 | 申請（專利權）人： | 頎中科技（蘇州）有限公司;北京奕斯偉科技有限公司;合肥奕斯偉封測技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 胡彭年 |
| 地址： | 215000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 機臺 | ||
1.一種涂布機臺，其特征在于：包括機臺架、轉動安裝在所述機臺架上的轉軸、設置在所述轉軸上的承載盤和罩設在所述承載盤外側的防護罩；所述承載盤上設置有用于吸附晶圓的真空吸附機構；所述防護罩上具有支撐部、橫向延伸部和連接所述支撐部和所述橫向延伸部的弧形連接部，所述支撐部傾斜角度范圍為60°到90°，且所述防護罩的材質為鋁。
2.根據權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于：所述防護罩的頂部設置有穿孔，所述穿孔的直徑不小于320mm。
3.根據權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于：所述弧形連接部所在圓的直徑不小于20mm。
4.根據權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于：所述涂布機臺還具有設置在所述機臺架上并位于所述承載盤下側的防溢蓋；所述防溢蓋上具有橫向支撐部、豎向支撐部、連接所述橫向支撐部和所述豎向支撐部的斜向連接部和設置在所述橫向支撐部上并與所述轉軸相對設置的轉孔，所述斜向連接部的傾斜角度不小于30°且不大于60°。
5.根據權利要求4所述的涂布機臺，其特征在于：所述斜向連接部的傾斜角度為45°。
6.根據權利要求4所述的涂布機臺，其特征在于：所述斜向連接部上設置有第一背洗針穿孔。
7.根據權利要求4所述的涂布機臺，其特征在于：所述橫向支撐部上設置有第二背洗針穿孔。
8.根據權利要求4所述的涂布機臺，其特征在于：所述防溢蓋上背離所述承載盤的一側設置有若干定位槽。
9.根據權利要求8所述的涂布機臺，其特征在于：所述定位槽設置有三個，三個所述定位槽呈環形均勻間隔排布。
10.根據權利要求4所述的涂布機臺，其特征在于：所述橫向支撐部上沿所述轉孔的邊沿設置有向所述承載盤的方向凸伸的環形支撐部。
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