[實用新型]一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐

有效

• 申請號: 202021190767.2
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN212533104U
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 王永超;趙澤良
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/14
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 孔麗麗

本實用新型公開了一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，包括真空熱壓爐本體，所述真空熱壓爐本體底座上設有固定軸，所述真空熱壓爐本體內設有模槽，所述模槽內插設有模具，所述模槽的頂面和底部上均插設有柱形水冷組件本體，所述模具的上下兩端分別與兩個柱形水冷組件本體相抵接觸。本實用新型通過橡膠制品的圓形塊配合圓形插槽內的環形密封圈對柱形水冷組件本體提供防護，延長柱形水冷組件本體的使用壽命，通過伺服電機帶動螺紋桿轉動，使其帶動螺紋套接的升降塊在連接桿上滑塊和滑槽的限位作用下進行升降，并配合圓形套筒帶動壓緊桿抵住柱形水冷組件本體后配合固定軸壓緊模具，代替人工手動操作，省時省力。

技術領域

本實用新型涉及真空熱壓爐技術領域，尤其涉及一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐。

背景技術

高純釕靶采用高純化合物粉末為原料，通過常壓燒結法、真空熱壓法以及熱等靜壓法等工藝成型,真空熱壓爐廣泛應用于硬質合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結處理，也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結。

現有的真空熱壓爐在實際使用時，其絲桿壓緊結構需要人工手動調節，費時費力，且爐內水冷塊缺少防護結構，現提出一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐來解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型提出了一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，用于解決背景技術中現有的真空熱壓爐在實際使用時，其絲桿壓緊結構需要人工手動調節，費時費力，且爐內水冷塊缺少防護結構的技術問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，包括真空熱壓爐本體，所述真空熱壓爐本體底座上設有固定軸，所述真空熱壓爐本體內設有模槽，所述模槽內插設有模具，所述模槽的頂面和底部上均插設有柱形水冷組件本體，所述模具的上下兩端分別與兩個柱形水冷組件本體相抵接觸，所述柱形水冷組件本體遠離模槽的一端均設有防護件，所述真空熱壓爐本體的上端貫穿設有壓緊機構，所述壓緊機構上設有驅動件，所述驅動件與壓緊機構傳動連接，所述壓緊機構和固定軸均與防護件卡接。

優選地，所述防護件包括分別固定連接于兩個柱形水冷組件本體遠離模槽一端上的圓形塊，兩塊所述圓形塊遠離柱形水冷組件本體的一端均設有圓形插槽，所述圓形插槽的環形內壁上固定連接有環形密封圈，所述壓緊機構和固定軸分別插設于兩側圓形插槽內并貫穿環形密封圈設置。

優選地，所述圓形塊和環形密封圈均為橡膠制品。

優選地，所述壓緊機構包括固定連接于真空熱壓爐本體上端的U型板，所述U型板的開口豎直朝下設置，所述驅動件設置于U型板靠近右側的上端，所述U型板的頂面上豎直轉動貫穿設有螺紋桿，所述螺紋桿位于U型板開口外的一端上同軸固定連接有第一錐齒輪，所述第一錐齒輪與驅動件傳動連接，所述螺紋桿位于U型板開口內的一端上螺紋套接有升降塊，所述升降塊與U型板開口的左側內壁滑動連接，所述升降塊的下端固定連接有罩設螺紋桿設置的圓形套筒，所述圓形套筒的下端固定連接有壓緊桿，所述壓緊桿的下端貫穿真空熱壓爐本體上端并插設于圓形插槽內，所述壓緊桿貫穿環形密封圈設置。

優選地，所述U型板開口的左側內壁上設有滑槽，所述滑槽內滑動連接有與之相匹配的滑塊，所述升降塊的左端側壁上固定連接有連接桿，所述滑塊遠離滑槽的一端與連接桿固定連接。

優選地，所述驅動件包括固定安裝于U型板靠近右側上端的伺服電機，所述伺服電機的驅動軸上固定連接有轉軸，所述轉軸上同軸固定連接有第二錐齒輪，所述第二錐齒輪與第一錐齒輪嚙合。

本實用新型與現有技術相比，其有益效果為：

1、通過橡膠制品的圓形塊配合圓形插槽內的環形密封圈對柱形水冷組件本體提供防護，延長柱形水冷組件本體的使用壽命。