[實用新型]一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐

有效

• 申請號: 202021190767.2
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN212533104U
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 王永超;趙澤良
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/14
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 孔麗麗

1.一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，包括真空熱壓爐本體（1），所述真空熱壓爐本體（1）底座上設有固定軸（2），其特征在于，所述真空熱壓爐本體（1）內設有模槽（3），所述模槽（3）內插設有模具（4），所述模槽（3）的頂面和底部上均插設有柱形水冷組件本體（5），所述模具（4）的上下兩端分別與兩個柱形水冷組件本體（5）相抵接觸，所述柱形水冷組件本體（5）遠離模槽（3）的一端均設有防護件，所述真空熱壓爐本體（1）的上端貫穿設有壓緊機構，所述壓緊機構上設有驅動件，所述驅動件與壓緊機構傳動連接，所述壓緊機構和固定軸（2）均與防護件卡接。

2.根據權利要求1所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，其特征在于，所述防護件包括分別固定連接于兩個柱形水冷組件本體（5）遠離模槽（3）一端上的圓形塊（6），兩塊所述圓形塊（6）遠離柱形水冷組件本體（5）的一端均設有圓形插槽（7），所述圓形插槽（7）的環形內壁上固定連接有環形密封圈（8），所述壓緊機構和固定軸（2）分別插設于兩側圓形插槽（7）內并貫穿環形密封圈（8）設置。

3.根據權利要求2所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，其特征在于，所述圓形塊（6）和環形密封圈（8）均為橡膠制品。

4.根據權利要求2所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，其特征在于，所述壓緊機構包括固定連接于真空熱壓爐本體（1）上端的U型板（9），所述U型板（9）的開口豎直朝下設置，所述驅動件設置于U型板（9）靠近右側的上端，所述U型板（9）的頂面上豎直轉動貫穿設有螺紋桿（10），所述螺紋桿（10）位于U型板（9）開口外的一端上同軸固定連接有第一錐齒輪（11），所述第一錐齒輪（11）與驅動件傳動連接，所述螺紋桿（10）位于U型板（9）開口內的一端上螺紋套接有升降塊（12），所述升降塊（12）與U型板（9）開口的左側內壁滑動連接，所述升降塊（12）的下端固定連接有罩設螺紋桿（10）設置的圓形套筒（13），所述圓形套筒（13）的下端固定連接有壓緊桿（14），所述壓緊桿（14）的下端貫穿真空熱壓爐本體（1）上端并插設于圓形插槽（7）內，所述壓緊桿（14）貫穿環形密封圈（8）設置。

5.根據權利要求4所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，其特征在于，所述U型板（9）開口的左側內壁上設有滑槽（15），所述滑槽（15）內滑動連接有與之相匹配的滑塊（16），所述升降塊（12）的左端側壁上固定連接有連接桿（17），所述滑塊（16）遠離滑槽（15）的一端與連接桿（17）固定連接。

6.根據權利要求4所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐，其特征在于，所述驅動件包括固定安裝于U型板（9）靠近右側上端的伺服電機（18），所述伺服電機（18）的驅動軸上固定連接有轉軸（19），所述轉軸（19）上同軸固定連接有第二錐齒輪（20），所述第二錐齒輪（20）與第一錐齒輪（11）嚙合。