[實用新型]一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐有效
| 申請號: | 202021190767.2 | 申請日: | 2020-06-24 |
| 公開(公告)號: | CN212533104U | 公開(公告)日: | 2021-02-12 |
| 發明(設計)人: | 王永超;趙澤良 | 申請(專利權)人: | 河南東微電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/34 | 分類號: | C23C14/34;B22F3/14 |
| 代理公司: | 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 孔麗麗 |
| 地址: | 450000 河南省鄭州市航空港區新港大*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 高純 制備 真空 熱壓 | ||
1.一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐,包括真空熱壓爐本體(1),所述真空熱壓爐本體(1)底座上設有固定軸(2),其特征在于,所述真空熱壓爐本體(1)內設有模槽(3),所述模槽(3)內插設有模具(4),所述模槽(3)的頂面和底部上均插設有柱形水冷組件本體(5),所述模具(4)的上下兩端分別與兩個柱形水冷組件本體(5)相抵接觸,所述柱形水冷組件本體(5)遠離模槽(3)的一端均設有防護件,所述真空熱壓爐本體(1)的上端貫穿設有壓緊機構,所述壓緊機構上設有驅動件,所述驅動件與壓緊機構傳動連接,所述壓緊機構和固定軸(2)均與防護件卡接。
2.根據權利要求1所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐,其特征在于,所述防護件包括分別固定連接于兩個柱形水冷組件本體(5)遠離模槽(3)一端上的圓形塊(6),兩塊所述圓形塊(6)遠離柱形水冷組件本體(5)的一端均設有圓形插槽(7),所述圓形插槽(7)的環形內壁上固定連接有環形密封圈(8),所述壓緊機構和固定軸(2)分別插設于兩側圓形插槽(7)內并貫穿環形密封圈(8)設置。
3.根據權利要求2所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐,其特征在于,所述圓形塊(6)和環形密封圈(8)均為橡膠制品。
4.根據權利要求2所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐,其特征在于,所述壓緊機構包括固定連接于真空熱壓爐本體(1)上端的U型板(9),所述U型板(9)的開口豎直朝下設置,所述驅動件設置于U型板(9)靠近右側的上端,所述U型板(9)的頂面上豎直轉動貫穿設有螺紋桿(10),所述螺紋桿(10)位于U型板(9)開口外的一端上同軸固定連接有第一錐齒輪(11),所述第一錐齒輪(11)與驅動件傳動連接,所述螺紋桿(10)位于U型板(9)開口內的一端上螺紋套接有升降塊(12),所述升降塊(12)與U型板(9)開口的左側內壁滑動連接,所述升降塊(12)的下端固定連接有罩設螺紋桿(10)設置的圓形套筒(13),所述圓形套筒(13)的下端固定連接有壓緊桿(14),所述壓緊桿(14)的下端貫穿真空熱壓爐本體(1)上端并插設于圓形插槽(7)內,所述壓緊桿(14)貫穿環形密封圈(8)設置。
5.根據權利要求4所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐,其特征在于,所述U型板(9)開口的左側內壁上設有滑槽(15),所述滑槽(15)內滑動連接有與之相匹配的滑塊(16),所述升降塊(12)的左端側壁上固定連接有連接桿(17),所述滑塊(16)遠離滑槽(15)的一端與連接桿(17)固定連接。
6.根據權利要求4所述的一種用于高純釕靶制備的真空熱壓爐,其特征在于,所述驅動件包括固定安裝于U型板(9)靠近右側上端的伺服電機(18),所述伺服電機(18)的驅動軸上固定連接有轉軸(19),所述轉軸(19)上同軸固定連接有第二錐齒輪(20),所述第二錐齒輪(20)與第一錐齒輪(11)嚙合。
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