[實用新型]一種特殊氣體全自動供氣控制設備

有效

• 申請號: 202021190665.0
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN212565317U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 劉躍
• 申請（專利權）人: 深圳市蓋斯帕克氣體應用技術有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F17D5/02
• 代理公司: 北京棘龍知識產權代理有限公司 11740
• 代理人: 戴麗偉

本實用新型公開了一種特殊氣體全自動供氣控制設備，包括工藝氣體供應模塊、吹掃抽真空模塊和高壓測漏模塊；工藝氣體供應模塊用于向工藝氣體輸出管路供應特殊氣體；吹掃抽真空模塊用于在更換鋼瓶時進行置換處理；高壓測漏模塊用于在供氣前檢測供氣系統是否存在泄漏的情況。本實用新型在控制特殊氣體的安全供氣的同時還能實現供氣鋼瓶安全置換以及供氣前高壓測漏，設置了多個壓力傳感器讀取各處壓力到PLC控制，以及可通過PLC控制器對各處的氣動隔膜閥進行開啟或關閉狀態的控制，可實現全自動24小時不間斷供氣，有效保障特殊氣體的用氣安全。

技術領域

本實用新型涉及特殊氣體供氣技術領域，特別涉及一種特殊氣體全自動供氣控制設備。

背景技術

特殊氣體如氫氣(H2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、乙烯(C2H4)等屬于易燃易爆性氣體，高危特殊氣體如如硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)等是自燃性氣體，如氨氣(NH3)、氯化氫(HCl)、笑氣(氮氣O)、氯氣(Cl2)等是具有毒性、腐蝕性的氣體。越來越多的特殊氣體使用在IC芯片、新能源、材料、微電子、光伏、生物醫療等相關熱點行業中，特殊氣體的用氣安全性日益受到重視。

目前一些工廠、實驗室、生產車間對特殊氣體使用的合理性沒有深刻理解，甚至有直接使用特氣鋼瓶供氣的情形，會對場所的安全埋下隱患。另外，現有特殊氣體供氣設備多為手動控制，對操作人員的要求較高，一方面，人員上崗需要經歷長時間的培訓，另一方面，一旦人員操作失誤，特殊氣體如果產生泄漏，將給環境、操作人員造成極大的危害，甚至影響到生命安全。

實用新型內容

為了解決現有高校科研實驗室、生產車間等對特殊氣體的供應和使用存在安全隱患的技術問題，本實用新型提出一種特殊氣體全自動供氣控制設備，結合特殊氣體復雜危險的性質，可通過控制盤面實現全自動24小時不間斷供氣，使得對特殊氣體的使用安全高效。

具體地，本實用新型提出一種特殊氣體全自動供氣控制設備，包括：工藝氣體供應模塊、吹掃抽真空模塊和高壓測漏模塊；所述工藝氣體供應模塊包括依次連接的第一供氣彎管、第一過濾器、第一高壓氣動隔膜閥、第一調壓閥、第一低壓氣動隔膜閥、低壓手動隔膜閥和工藝氣體輸出管路；所述吹掃抽真空模塊包括：依次連接的第二供氣彎管、第二過濾器、高壓手動隔膜閥、第二調壓閥、第二低壓氣動隔膜閥、第一單向閥、第二單向閥和第二高壓氣動隔膜閥，連接所述第一過濾器的出口端并依次連接的第三高壓氣動隔膜閥、真空發生器和功能性氣體輸出管路，以及，連接所述真空發生器和所述第二單向閥的入口端的第四高壓氣動隔膜閥；所述高壓測漏模塊在與所述吹掃抽真空模塊共用所述第二供氣彎管、所述第二過濾器、所述高壓手動隔膜閥和所述第二高壓氣動隔膜閥的基礎上，還包括連接所述高壓手動隔膜閥的出口端和所述第二單向閥的出口端的第五高壓氣動隔膜閥。

進一步地，所述第一供氣彎管的出口端設有第一高壓壓力傳感器，所述低壓手動隔膜閥的入口端設有低壓壓力傳感器，所述第二調壓閥設有第二高壓壓力傳感器；所述第一高壓氣動隔膜閥、所述第一低壓氣動隔膜閥、所述第二低壓氣動隔膜閥、所述第二高壓氣動隔膜閥、所述第三高壓氣動隔膜閥、所述真空發生器、所述第四高壓氣動隔膜閥、所述第五高壓氣動隔膜閥、所述第一高壓壓力傳感器、所述低壓壓力傳感器和所述第二高壓壓力傳感器均連接PLC控制器。

進一步地，所述第一供氣彎管的入口端連接特殊氣體鋼瓶。

進一步地，所述第二供氣彎管的入口端連接高純氮氣氣體鋼瓶。

進一步地，所述第一調壓閥和所述第二調壓閥均為手動調壓閥。

本實用新型的有益效果在于：