[實用新型]一種特殊氣體全自動供氣控制設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021190665.0
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN212565317U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設計）人: 劉躍
• 申請（專利權）人: 深圳市蓋斯帕克氣體應用技術有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F17D5/02
• 代理公司: 北京棘龍知識產(chǎn)權代理有限公司 11740
• 代理人: 戴麗偉

1.一種特殊氣體全自動供氣控制設備，其特征在于，包括：工藝氣體供應模塊、吹掃抽真空模塊和高壓測漏模塊；所述工藝氣體供應模塊包括依次連接的第一供氣彎管(1)、第一過濾器(2)、第一高壓氣動隔膜閥(3)、第一調(diào)壓閥(4)、第一低壓氣動隔膜閥(5)、低壓手動隔膜閥(6)和工藝氣體輸出管路(7)；所述吹掃抽真空模塊包括：依次連接的第二供氣彎管(8)、第二過濾器(9)、高壓手動隔膜閥(10)、第二調(diào)壓閥(11)、第二低壓氣動隔膜閥(12)、第一單向閥(13)、第二單向閥(14)和第二高壓氣動隔膜閥(15)，連接所述第一過濾器(2)的出口端并依次連接的第三高壓氣動隔膜閥(16)、真空發(fā)生器(17)和功能性氣體輸出管路(19)，以及，連接所述真空發(fā)生器(17)和所述第二單向閥(14)的入口端的第四高壓氣動隔膜閥(18)；所述高壓測漏模塊在與所述吹掃抽真空模塊共用所述第二供氣彎管(8)、所述第二過濾器(9)、所述高壓手動隔膜閥(10)和所述第二高壓氣動隔膜閥(15)的基礎上，還包括連接所述高壓手動隔膜閥(10)的出口端和所述第二單向閥(14)的出口端的第五高壓氣動隔膜閥(20)。

2.如權利要求1所述的一種特殊氣體全自動供氣控制設備，其特征在于，所述第一供氣彎管(1)的出口端設有第一高壓壓力傳感器(21)，所述低壓手動隔膜閥(6)的入口端設有低壓壓力傳感器(22)，所述第二調(diào)壓閥(11)設有第二高壓壓力傳感器(23)；所述第一高壓氣動隔膜閥(3)、所述第一低壓氣動隔膜閥(5)、所述第二低壓氣動隔膜閥(12)、所述第二高壓氣動隔膜閥(15)、所述第三高壓氣動隔膜閥(16)、所述真空發(fā)生器(17)、所述第四高壓氣動隔膜閥(18)、所述第五高壓氣動隔膜閥(20)、所述第一高壓壓力傳感器(21)、所述低壓壓力傳感器(22)和所述第二高壓壓力傳感器(23)均連接PLC控制器。

3.如權利要求2所述的一種特殊氣體全自動供氣控制設備，其特征在于，所述第一供氣彎管(1)的入口端連接特殊氣體鋼瓶(24)。

4.如權利要求2所述的一種特殊氣體全自動供氣控制設備，其特征在于，所述第二供氣彎管(8)的入口端連接高純氮氣氣體鋼瓶(25)。

5.如權利要求2所述的一種特殊氣體全自動供氣控制設備，其特征在于，所述第一調(diào)壓閥(4)和所述第二調(diào)壓閥(11)均為手動調(diào)壓閥。