[實(shí)用新型]一種用于芯片承載帶的芯片更換裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202021145277.0 | 申請(qǐng)日: | 2020-06-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN212783382U | 公開(公告)日: | 2021-03-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 周科群;趙亞東;汪洋;陳楚杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 寧波芯健半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫;賈允 |
| 地址: | 315336 浙江省寧波市杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 芯片 承載 更換 裝置 | ||
本實(shí)用新型公開了一種用于芯片承載帶的芯片更換裝置,包括承載帶固定裝置、真空吸附裝置和承載帶;所述承載帶固定裝置與所述承載帶連接;所述真空吸附裝置靠近所述承載帶固定裝置設(shè)置;所述承載帶固定裝置用于固定所述承載帶,所述真空吸附裝置用于將所述承載帶中異常芯片取出,并更換替補(bǔ)芯片,通過真空吸附方式實(shí)現(xiàn)承載帶內(nèi)芯片的快速更換,同時(shí)保證了更換過程中芯片結(jié)構(gòu)的完整性,通過將承載帶固定后再進(jìn)行芯片更換,提高了芯片更換的準(zhǔn)確性和效率,相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),可以有效降低傳統(tǒng)夾取對(duì)芯片造成的損傷,保護(hù)芯片。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種用于芯片承載帶的芯片更換裝置。
背景技術(shù)
隨著電子設(shè)備小型化,電子部件的存儲(chǔ)、處理和傳送變得更加重要。一般來講,電子部件在具有形成于其中以保持電子部件的多個(gè)口袋的承載帶組件中被傳送到組裝位置。承載帶組件包括承載帶和蓋帶或膜。通常通過熱成形或壓花操作制造承載帶,其中熱塑性聚合物的幅材被遞送到形成承載帶中的部件口袋的模具。蓋帶可沿承載帶的邊緣連續(xù)熱密封,以密封承載帶的口袋內(nèi)的電子部件。
芯片放入承載帶中,經(jīng)蓋帶熱封后,位置就固定在承載帶口袋內(nèi),如有異常芯片需要替換的時(shí)候,常規(guī)方法采用從芯片側(cè)面夾取芯片后再放入載帶的方法,容易造成芯片刮傷等異常,且夾取時(shí)可能會(huì)觸碰到電路層,大大增加芯片損傷的風(fēng)險(xiǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述問題,本實(shí)用新型的目的在于,提供一種用于芯片承載帶的芯片更換裝置,改善芯片更換方式,使得芯片更換時(shí)對(duì)芯片本身的質(zhì)量影響降到最小。
為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案如下:
本實(shí)用新型提供一種用于芯片承載帶的芯片更換裝置,包括承載帶固定裝置和真空吸附裝置;
所述承載帶固定裝置與所述承載帶連接;
具體地,所述承載帶固定裝置包括底板和固定件,所述承載帶設(shè)置在所述底板上,所述固定件與所述承載帶連接;
所述真空吸附裝置靠近所述承載帶固定裝置設(shè)置;
所述承載帶固定裝置用于固定所述承載帶,所述真空吸附裝置用于將所述承載帶中異常芯片取出,并更換替補(bǔ)芯片。
進(jìn)一步地,所述承載帶呈縱向延伸設(shè)置,沿所述縱向延伸的一側(cè)設(shè)有多個(gè)定位孔,沿所述縱向延伸的另一側(cè)設(shè)有多個(gè)安裝槽,每個(gè)所述安裝槽通過設(shè)置蓋帶密封。
作為可選地,所述底板為支撐板,所述固定件為固定桿;所述固定桿設(shè)置在所述支撐板上,所述固定桿與所述定位孔配合,將所述承載帶固定在所述支撐板上。
進(jìn)一步地,所述真空吸附裝置包括真空發(fā)生裝置和芯片吸附管;所述芯片吸附管與所述真空發(fā)生裝置連接。
進(jìn)一步地,所述芯片吸附管包括控制端頭、吸附端頭和導(dǎo)氣管;所述控制端頭設(shè)置在所述導(dǎo)氣管的一端,并與所述真空發(fā)生裝置連接,所述吸附端頭設(shè)置在所述導(dǎo)氣管的另一端。
作為可選地,所述控制端頭設(shè)有控制模塊,所述控制模塊與所述真空發(fā)生裝置連接。
作為可選地,所述吸附端頭設(shè)有吸附面,所述吸附面呈平面設(shè)置。
作為優(yōu)選地,所述真空發(fā)生裝置為真空發(fā)生器。
進(jìn)一步地,所述芯片更換裝置還包括剝離裝置,所述剝離裝置用于將所述蓋帶,以使所述真空吸附裝置伸進(jìn)所述安裝槽吸附芯片。
進(jìn)一步地,所述芯片更換裝置還包括封合裝置,所述封合裝置用于在芯片更換完成后,對(duì)所述蓋帶進(jìn)行封合操作。
采用上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型所述的具有如下有益效果:
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





