[實(shí)用新型]一種控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021124234.4
• 申請(qǐng)日: 2020-06-17
• 公開（公告）號(hào): CN212536198U
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋永輝;蔡浩杰;徐偉;王兆豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海松尚國(guó)際貿(mào)易有限公司
• 主分類號(hào): F04D27/00
• 分類號(hào): F04D27/00;F04D19/04;F04D25/16
• 代理公司: 無(wú)錫派爾特知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32340
• 代理人: 楊立秋

本申請(qǐng)涉及一種控制系統(tǒng)，屬于工業(yè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，所述系統(tǒng)包括：預(yù)抽真空室、隔離閥、高真空計(jì)、高精度真空計(jì)、分子泵、氣動(dòng)閥、粗抽閥、前級(jí)壓力計(jì)、干泵和截止閥；隔離閥連接分子泵和預(yù)抽真空室，用于隔離分子泵和預(yù)抽真空室；高真空計(jì)和高精度真空計(jì)容納在預(yù)抽真空室中；氣動(dòng)閥與預(yù)抽真空室連通，用于控制向預(yù)抽真空室中充入氣體；預(yù)抽真空室通過(guò)粗抽閥與系統(tǒng)泵連接；分子泵通過(guò)截止閥連接前級(jí)壓力計(jì)和干泵。解決了現(xiàn)有技術(shù)中使用冷泵的情況下可能出現(xiàn)抖動(dòng)，需要定期維護(hù)，成本高的問(wèn)題；達(dá)到了可以減少抖動(dòng)，降低作業(yè)人員的維護(hù)成本的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及一種控制系統(tǒng)，屬于工業(yè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

采用CENTURA5200的晶圓承載平臺(tái)做PVD 的工藝時(shí)，需要在預(yù)抽真空室（LOADLOCK）保持高真空度，普通的方式是采用干泵，真空度可以達(dá)到10^-3Torr;比如采用干泵+冷泵的方式，真空度可以達(dá)到10^-6Torr，但是冷泵面臨著震動(dòng)較大，需要配備壓縮機(jī)及定期維護(hù)的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N控制系統(tǒng)，可以解決現(xiàn)有方案中的問(wèn)題。本申請(qǐng)?zhí)峁┤缦录夹g(shù)方案：

第一方面，提供了一種控制系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：

預(yù)抽真空室、隔離閥、高真空計(jì)、高精度真空計(jì)、分子泵、氣動(dòng)閥、粗抽閥、前級(jí)壓力計(jì)、干泵和截止閥；

所述隔離閥連接所述分子泵和所述預(yù)抽真空室，用于隔離所述分子泵和所述預(yù)抽真空室；

所述所述高真空計(jì)和所述高精度真空計(jì)容納在所述預(yù)抽真空室中；

所述氣動(dòng)閥與所述預(yù)抽真空室連通，用于控制向所述預(yù)抽真空室中充入氣體；

所述預(yù)抽真空室通過(guò)所述粗抽閥與系統(tǒng)泵連接；

所述分子泵通過(guò)所述截止閥連接所述前級(jí)壓力計(jì)和所述干泵。

可選的，所述預(yù)抽真空室有兩個(gè)，每個(gè)預(yù)抽真空室對(duì)應(yīng)于一組隔離閥、高真空計(jì)、高精度真空計(jì)、分子泵、氣動(dòng)閥、粗抽閥、前級(jí)壓力計(jì)、干泵和截止閥。

可選的，所述系統(tǒng)還包括可編程邏輯控制器PLC，所述PLC控制器與所述隔離閥、所述高真空計(jì)、所述高精度真空計(jì)、所述分子泵、所述氣動(dòng)閥、所述粗抽閥、所述前級(jí)壓力計(jì)、所述干泵和所述截止閥電性連接。

可選的，所述高精度真空計(jì)為MKS Baratron 真空計(jì)。

第二方面，提供了一種控制方法，所述方法包括：

在初始狀態(tài)下，開啟所述截止閥并啟動(dòng)所述分子泵；所述初始狀態(tài)下所述氣動(dòng)閥和所述粗抽閥均關(guān)閉，所述預(yù)抽真空室為大氣狀態(tài)；

在機(jī)臺(tái)上料完畢后，開啟所述粗抽閥，通過(guò)系統(tǒng)泵將所述預(yù)抽真空室抽至第一預(yù)設(shè)真空后關(guān)閉所述粗抽閥；

開啟所述隔離閥，通過(guò)所述分子泵將所述預(yù)抽真空室抽至第二預(yù)設(shè)真空，并執(zhí)行工藝傳輸；

在工藝完成后，關(guān)閉所述高真空計(jì)后關(guān)閉所述隔離閥，開啟所述氣動(dòng)閥后給所述預(yù)抽真空室充入氣體；

在所述預(yù)抽真空室達(dá)到大氣狀態(tài)時(shí)，關(guān)閉所述氣動(dòng)閥，并對(duì)所述預(yù)抽真空室進(jìn)行下料。

可選的，所述方法還包括：

在通過(guò)所述系統(tǒng)泵將所述預(yù)抽真空室抽至所述第一預(yù)設(shè)真空時(shí)，通過(guò)所述高精度真空計(jì)來(lái)測(cè)量真空狀態(tài)。

可選的，所述方法還包括：

在通過(guò)所述分子泵將所述預(yù)抽真空室抽至所述第二預(yù)設(shè)真空時(shí)，通過(guò)所述高真空計(jì)來(lái)測(cè)量真空狀態(tài)。

可選的，所述方法還包括：