[實用新型]一種控制系統有效
| 申請號： | 202021124234.4 | 申請日： | 2020-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN212536198U | 公開（公告）日： | 2021-02-12 |
| 發明（設計）人： | 宋永輝;蔡浩杰;徐偉;王兆豐 | 申請（專利權）人： | 上海松尚國際貿易有限公司 |
| 主分類號： | F04D27/00 | 分類號： | F04D27/00;F04D19/04;F04D25/16 |
| 代理公司： | 無錫派爾特知識產權代理事務所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 楊立秋 |
| 地址： | 200000 上海市浦東新區中國(*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 控制系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種控制系統，其特征在于，所述系統包括：
預抽真空室、隔離閥、高真空計、高精度真空計、分子泵、氣動閥、粗抽閥、前級壓力計、干泵和截止閥；
所述隔離閥連接所述分子泵和所述預抽真空室，用于隔離所述分子泵和所述預抽真空室；
所述高真空計和所述高精度真空計容納在所述預抽真空室中；
所述氣動閥與所述預抽真空室連通，用于控制向所述預抽真空室中充入氣體；
所述預抽真空室通過所述粗抽閥與系統泵連接；
所述分子泵通過所述截止閥連接所述前級壓力計和所述干泵。
2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述預抽真空室有兩個，每個預抽真空室對應于一組隔離閥、高真空計、高精度真空計、分子泵、氣動閥、粗抽閥、前級壓力計、干泵和截止閥。
3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器與所述隔離閥、所述高真空計、所述高精度真空計、所述分子泵、所述氣動閥、所述粗抽閥、所述前級壓力計、所述干泵和所述截止閥電性連接。
4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述高精度真空計為MKS Baratron真空計。
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