[實用新型]一種CDS供液系統藥液恒溫裝置

有效

• 申請號: 202021068965.1
• 申請日: 2020-06-11
• 公開（公告）號: CN213020883U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 徐竹林
• 申請（專利權）人: 南通華林科納半導體設備有限公司
• 主分類號: F26B21/14
• 分類號: F26B21/14;F24H3/04;F24H9/18;F24H9/20
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 崔立青;王玉梅

本實用新型公開了一種CDS供液系統藥液恒溫裝置，該裝置由進氣口、線盒、連接法蘭、渦流散熱面、外殼、加熱棒、出氣口、熱電偶、隔熱圈、安裝地腳、安全減壓閥組成，所述進氣口開設于該恒溫裝置的最左端，且進氣口位于所述線盒的左側位置，所述線盒通過連接法蘭與恒溫裝置的外殼相連接，所述外殼內部安裝有加熱棒。該一種CDS供液系統藥液恒溫裝置，傳統的管道式加熱器均為大功率加熱器，不但體積大，而且熱轉換率較低，要做到很小功率，體積也非常大，不能適用于清洗設備，因而開發恒溫裝置，該恒溫裝置熱轉換率高，能夠做到功率小，體積小，廣泛適用于清洗設備中，具有實用性。

技術領域

本實用新型涉及CDS供液系統技術領域，具體為一種CDS供液系統藥液恒溫裝置。

背景技術

半導體生產過程中在清洗工序完成后越來越注重半導體表面的質量要求，因此都加入了烘干工序，隨之而來的氮氣加熱烘干越顯得重要。傳統的管道式加熱器均為大功率加熱器，不但體積大，而且熱轉換率較低，要做到很小功率，體積也非常大，不能適用于清洗設備，為此，設計一種CDS供液系統藥液恒溫裝置。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種CDS供液系統藥液恒溫裝置；

本實用新型提供如下技術方案：一種CDS供液系統藥液恒溫裝置，該裝置由進氣口、線盒、連接法蘭、渦流散熱面、外殼、加熱棒、出氣口、熱電偶、隔熱圈、安裝地腳、安全減壓閥組成，所述進氣口開設于該恒溫裝置的最左端，且進氣口位于所述線盒的左側位置，所述線盒通過連接法蘭與恒溫裝置的外殼相連接，所述外殼內部安裝有加熱棒。

優選的，所述安裝地腳的數量為兩個，且兩個安裝地腳的規格大小一致，安裝地腳安裝于所述恒溫裝置的底部。

優選的，所述加熱棒呈螺旋狀設置。

優選的，所述安全減壓閥靠近隔熱圈的一側，且該安全減壓閥與出氣口的左側相連。

優選的，所述熱電偶的測溫范圍在－200℃-1300℃。

優選的，所述熱電偶的最高耐高溫達2800℃。

與現有技術對比，本實用新型具備以下有益效果：該一種CDS供液系統藥液恒溫裝置，改變了多種溶液配比由手動轉變成自動的過程，配比可隨時改變，控制精度高，實現了配液過程中人與藥液的隔離，確保人身安全，實現了自動化氣體加濕。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結構示意圖；

圖中：1、進氣口；2、線盒；3、連接法蘭；4、渦流散熱面；5、外殼； 6、加熱棒；7、出氣口；8、熱電偶；9、隔熱圈；10、安裝地腳；11、安全減壓閥。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1，一種CDS供液系統藥液恒溫裝置，該裝置由進氣口1、線盒2、連接法蘭3、渦流散熱面4、外殼5、加熱棒6、出氣口7、熱電偶8、隔熱圈9、安裝地腳10、安全減壓閥11組成，所述進氣口1開設于該恒溫裝置的最左端，且進氣口1位于所述線盒2的左側位置，所述線盒2通過連接法蘭3與恒溫裝置的外殼5相連接，所述外殼5內部安裝有加熱棒6。安裝地腳10的數量為兩個，且兩個安裝地腳10的規格大小一致，安裝地腳 10安裝于所述恒溫裝置的底部。

加熱棒6呈螺旋狀設置。

安全減壓閥11靠近隔熱圈9的一側，且該安全減壓閥11與出氣口7的左側相連。

熱電偶8的測溫范圍在－200℃-1300℃。