[實用新型]一種CDS供液系統藥液恒溫裝置有效
| 申請號: | 202021068965.1 | 申請日: | 2020-06-11 |
| 公開(公告)號: | CN213020883U | 公開(公告)日: | 2021-04-20 |
| 發明(設計)人: | 徐竹林 | 申請(專利權)人: | 南通華林科納半導體設備有限公司 |
| 主分類號: | F26B21/14 | 分類號: | F26B21/14;F24H3/04;F24H9/18;F24H9/20 |
| 代理公司: | 南京天翼專利代理有限責任公司 32112 | 代理人: | 崔立青;王玉梅 |
| 地址: | 226500 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 cds 系統 藥液 恒溫 裝置 | ||
1.一種CDS供液系統藥液恒溫裝置,其特征在于:該裝置由進氣口(1)、線盒(2)、連接法蘭(3)、渦流散熱面(4)、外殼(5)、加熱棒(6)、出氣口(7)、熱電偶(8)、隔熱圈(9)、安裝地腳(10)、安全減壓閥(11)組成,所述進氣口(1)開設于該恒溫裝置的最左端,且進氣口(1)位于所述線盒(2)的左側位置,所述線盒(2)通過連接法蘭(3)與恒溫裝置的外殼(5)相連接,所述外殼(5)內部安裝有加熱棒(6)。
2.根據權利要求1所述的一種CDS供液系統藥液恒溫裝置,其特征在于:所述安裝地腳(10)的數量為兩個,且兩個安裝地腳(10)的規格大小一致,安裝地腳(10)安裝于所述恒溫裝置的底部。
3.根據權利要求1所述的一種CDS供液系統藥液恒溫裝置,其特征在于:所述加熱棒(6)呈螺旋狀設置。
4.根據權利要求1所述的一種CDS供液系統藥液恒溫裝置,其特征在于:所述安全減壓閥(11)靠近隔熱圈(9)的一側,且該安全減壓閥(11)與出氣口(7)的左側相連。
5.根據權利要求1所述的一種CDS供液系統藥液恒溫裝置,其特征在于:所述熱電偶(8)的測溫范圍在-200℃-1300℃。
6.根據權利要求1所述的一種CDS供液系統藥液恒溫裝置,其特征在于:所述熱電偶(8)的最高耐高溫達2800℃。
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