[實(shí)用新型]一種微形變壓力傳感器及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021065587.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN212059194U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂壘;陸前軍;吳先燕;何志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市中圖半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): G01L1/18
• 分類號(hào): G01L1/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種微形變壓力傳感器及裝置。該微形變壓力傳感器包括第一剛性襯底、第二剛性襯底、導(dǎo)電薄膜和兩個(gè)電極；所述導(dǎo)電薄膜位于所述第一剛性襯底和所述第二剛性襯底之間；所述兩個(gè)電極位于所述導(dǎo)電薄膜的兩端，且分別與所述導(dǎo)電薄膜電連接。本實(shí)用新型實(shí)施例利用導(dǎo)電薄膜的微形變進(jìn)行壓力測量，解決了現(xiàn)有壓力傳感器形變量過大而導(dǎo)致壓力測量存在誤差的問題，使微形變過程實(shí)現(xiàn)為壓力測量過程，保證了壓力測量的準(zhǔn)確度和精度，改善了壓力測量的靈敏度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型實(shí)施例微納米半導(dǎo)體器件領(lǐng)域，尤其涉及一種微形變壓力傳感器及裝置。

背景技術(shù)

壓力傳感器是能感受壓力信號(hào)，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號(hào)的器件或裝置。壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號(hào)處理單元組成。按不同的測試壓力類型，壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。

傳統(tǒng)的壓力傳感器在受到外部壓力后，會(huì)產(chǎn)生較大形變量，對(duì)于壓力的大小和對(duì)于壓力狀態(tài)的判定影響較大，因此如何降低測試壓力過程中的形變量就顯得至關(guān)重要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種微形變壓力傳感器及裝置，以降低壓力測量過程中形變量過大產(chǎn)生的影響，提高壓力測量精度。

第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種微形變壓力傳感器，包括第一剛性襯底、第二剛性襯底、導(dǎo)電薄膜和兩個(gè)電極；

所述導(dǎo)電薄膜位于所述第一剛性襯底和所述第二剛性襯底之間；所述兩個(gè)電極位于所述導(dǎo)電薄膜的兩端，且分別與所述導(dǎo)電薄膜電連接。

可選地，所述第二剛性襯底朝向所述導(dǎo)電薄膜的一側(cè)設(shè)置有多個(gè)凸起微結(jié)構(gòu)。

可選地，所述導(dǎo)電薄膜的厚度為1nm至10μm。

可選地，所述凸起微結(jié)構(gòu)的周期為100nm到10μm，高度為100nm到5μm。

可選地，所述凸起微結(jié)構(gòu)為圓臺(tái)狀、多棱臺(tái)狀、平頂半圓狀。

可選地，所述凸起微結(jié)構(gòu)為類圓臺(tái)狀、類多棱臺(tái)狀、類平頂半圓狀，所述凸起微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁設(shè)置弧度。

可選地，所述弧度的隆起高度為1nm到1μm。

第二方面，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種微形變壓力傳感裝置，包括如第一方面任一項(xiàng)所述的微形變壓力傳感器，還包括數(shù)字萬用表；所述數(shù)字萬用表的陽極和陰極分別與所述微形變壓力傳感器的兩個(gè)電極電連接；

所述數(shù)字萬用表用于測量所述微形變壓力傳感器的導(dǎo)電薄膜的電阻值。

可選地，所述微形變壓力傳感器裝置還包括處理模塊，所述處理模塊與所述數(shù)字萬用表電連接；

所述處理模塊用于根據(jù)所述微形變壓力傳感器測量的電阻值，以及所述微形變壓力傳感器電阻值和壓力的對(duì)應(yīng)關(guān)系，計(jì)算所述微形變壓力傳感器所受壓力。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的微形變壓力傳感器及裝置，通過設(shè)置第一剛性襯底、第二剛性襯底、導(dǎo)電薄膜和兩個(gè)電極，其中導(dǎo)電模塊位于第一剛性襯底和第二剛性襯底之間，兩個(gè)電極位于導(dǎo)電薄膜的兩端，且分別與導(dǎo)電薄膜電連接，可以利用第一剛性基板和第二剛性基板對(duì)導(dǎo)電薄膜產(chǎn)生擠壓力，從而使導(dǎo)電薄膜發(fā)生微形變，繼而通過導(dǎo)電薄膜兩端連接的電極，可以測算導(dǎo)電薄膜的電阻值，即可根據(jù)電阻值換算為壓力值，從而實(shí)現(xiàn)壓力的測量。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的微形變壓力傳感器，利用導(dǎo)電薄膜的微形變進(jìn)行壓力測量，解決了現(xiàn)有壓力傳感器形變量過大而導(dǎo)致壓力測量存在誤差的問題，使微形變過程實(shí)現(xiàn)為壓力測量過程，保證了壓力測量的準(zhǔn)確度和精度，改善了壓力測量的靈敏度。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種微形變壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；