[實(shí)用新型]一種微形變壓力傳感器及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021065587.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212059194U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂壘;陸前軍;吳先燕;何志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東莞市中圖半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01L1/18
• 分類(lèi)號(hào): G01L1/18
• 代理公司: 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種微形變壓力傳感器，其特征在于，包括第一剛性襯底、第二剛性襯底、導(dǎo)電薄膜和兩個(gè)電極；

所述導(dǎo)電薄膜位于所述第一剛性襯底和所述第二剛性襯底之間；所述兩個(gè)電極位于所述導(dǎo)電薄膜的兩端，且分別與所述導(dǎo)電薄膜電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微形變壓力傳感器，其特征在于，所述導(dǎo)電薄膜的厚度為1nm至10μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微形變壓力傳感器，其特征在于，所述第二剛性襯底朝向所述導(dǎo)電薄膜的一側(cè)設(shè)置有多個(gè)凸起微結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微形變壓力傳感器，其特征在于，所述凸起微結(jié)構(gòu)的周期為100nm到10μm，高度為100nm到5μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微形變壓力傳感器，其特征在于，所述凸起微結(jié)構(gòu)為圓臺(tái)狀、多棱臺(tái)狀、平頂半圓狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微形變壓力傳感器，其特征在于，所述凸起微結(jié)構(gòu)為類(lèi)圓臺(tái)狀、類(lèi)多棱臺(tái)狀、類(lèi)平頂半圓狀，所述凸起微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁設(shè)置弧度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微形變壓力傳感器，其特征在于，所述弧度的隆起高度為1nm到1μm。

8.一種微形變壓力傳感裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的微形變壓力傳感器，還包括數(shù)字萬(wàn)用表；所述數(shù)字萬(wàn)用表的陽(yáng)極和陰極分別與所述微形變壓力傳感器的兩個(gè)電極電連接；

所述數(shù)字萬(wàn)用表用于測(cè)量所述微形變壓力傳感器的導(dǎo)電薄膜的電阻值。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微形變壓力傳感裝置，其特征在于，所述微形變壓力傳感器裝置還包括處理模塊，所述處理模塊與所述數(shù)字萬(wàn)用表電連接；

所述處理模塊用于根據(jù)所述微形變壓力傳感器測(cè)量的電阻值，以及所述微形變壓力傳感器電阻值和壓力的對(duì)應(yīng)關(guān)系，計(jì)算所述微形變壓力傳感器所受壓力。