[實(shí)用新型]一種晶圓濕法分片用料框

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021051719.5
• 申請(qǐng)日: 2020-06-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212322972U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張豐;王帥;曹強(qiáng);范方明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司;中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本實(shí)用新型提供一種晶圓濕法分片用料框，包括端板一、端板二、支撐部、行走裝置、傾斜抵靠裝置和握持裝置，其中，端板一與端板二設(shè)于支撐部的兩端，對(duì)晶圓進(jìn)行支撐；行走裝置分別與端板一和端板二轉(zhuǎn)動(dòng)連接，便于料框移動(dòng)；傾斜抵靠裝置與端板一和/或端板二連接，使得晶圓抵靠?jī)A斜抵靠裝置，保持傾斜狀態(tài)；握持裝置與端板一和/或端板二連接，便于料框搬運(yùn)。本實(shí)用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，安裝維修方便，便于對(duì)疊在一起的晶圓進(jìn)行盛放，該料框具有行走裝置，行走裝置能夠相對(duì)端板一和端板二轉(zhuǎn)動(dòng)，使得料框能夠進(jìn)行自由行走，在進(jìn)行料框的轉(zhuǎn)運(yùn)搬運(yùn)時(shí)，只需推拉料框即可，無(wú)需人工整體搬運(yùn)，降低料框搬運(yùn)的勞動(dòng)強(qiáng)度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種晶圓濕法分片用料框。

背景技術(shù)

在光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域，在晶圓制備的過(guò)程中，在濕法下載后，下料對(duì)象為一摞疊起來(lái)的晶圓片，疊放在一起的晶圓放置于料框中，進(jìn)行分片，以便于晶圓進(jìn)行后續(xù)入籃工序，現(xiàn)有用的料框在使用時(shí)，需要人工搬運(yùn)，盛放有晶圓的料框重量大，人工搬運(yùn)時(shí)勞動(dòng)強(qiáng)度大，搬運(yùn)效率低，且搬運(yùn)時(shí)直接與料框的端板或支撐桿接觸，易造成料框的損壞，使用壽命短。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種晶圓濕法分片用料框，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的以上或者其他前者問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種晶圓濕法分片用料框，包括端板一、端板二、支撐部、行走裝置、傾斜抵靠裝置和握持裝置，其中，

端板一與端板二設(shè)于支撐部的兩端，對(duì)晶圓進(jìn)行支撐；

行走裝置分別與端板一和端板二轉(zhuǎn)動(dòng)連接，便于料框移動(dòng)；

傾斜抵靠裝置與端板一和/或端板二連接，使得晶圓抵靠?jī)A斜抵靠裝置，保持傾斜狀態(tài)；

握持裝置與端板一和/或端板二連接，便于料框搬運(yùn)。

進(jìn)一步的，支撐部包括第一支撐部和第二支撐部，第一支撐部與第二支撐部沿著晶圓裝入的方向依次設(shè)置；其中，

第一支撐部與第二支撐部均包括一對(duì)平行設(shè)置的支撐桿，第一支撐部的支撐桿之間的距離大于第二支撐部的支撐桿之間的距離。

進(jìn)一步的，端板一與端板二均設(shè)有滑道，支撐桿的兩端分別與滑道滑動(dòng)連接，支撐桿可相對(duì)于端板一和端板二滑動(dòng)，進(jìn)行每對(duì)支撐桿之間距離的調(diào)節(jié)。

進(jìn)一步的，第一支撐部的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)第一支撐部平行設(shè)置。

進(jìn)一步的，支撐桿設(shè)有緩沖裝置。

進(jìn)一步的，行走裝置包括多個(gè)行走輪，多個(gè)行走輪分別與端板一和端板二轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且多個(gè)行走輪設(shè)于端板一和端板二的靠近第二支撐部的一端。

進(jìn)一步的，握持裝置包括把手，把手與端板一和/或端板二連接。

進(jìn)一步的，握持裝置還包括承托件，承托件與端板一和/或端板二可拆卸連接。

進(jìn)一步的，把手與承托件平行設(shè)置。

進(jìn)一步的，傾斜抵靠裝置設(shè)有傾斜部，傾斜部靠近晶圓的一側(cè)面與豎直面傾斜相交，且傾斜部的厚度沿著晶圓進(jìn)入的方向依次增大。

由于采用上述技術(shù)方案，使得該晶圓濕法分片用料框結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，安裝維修方便，便于對(duì)疊在一起的晶圓進(jìn)行盛放，該料框具有行走裝置，行走裝置能夠相對(duì)端板一和端板二轉(zhuǎn)動(dòng)，使得料框能夠進(jìn)行自由行走，在進(jìn)行料框的轉(zhuǎn)運(yùn)搬運(yùn)時(shí)，只需推拉料框即可，無(wú)需人工整體搬運(yùn)，降低料框搬運(yùn)的勞動(dòng)強(qiáng)度；同時(shí)，具有握持裝置，便于料框轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)握持時(shí)握住，使得料框便于搬運(yùn)，同時(shí)避免料框搬運(yùn)時(shí)與端板或支撐桿接觸，延長(zhǎng)料框的使用壽命；具有滑道，使得支撐桿之間的間隙可以調(diào)節(jié)，使得料框能夠?qū)Σ煌叽绲木A進(jìn)行盛放，使得料框的使用范圍廣。

附圖說(shuō)明