[實用新型]一種化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置

有效

• 申請號: 202021030735.6
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN212770948U
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 賀鵬博;周帆
• 申請（專利權）人: 湖南鎧欣新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 張勇

本實用新型提供一種化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置。化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，包括：爐體本體；抽氣泵，所述抽氣泵設置在所述爐體本體的一側；混氣機構，所述混氣機構設置在所述抽氣泵的一側；第二連接管，所述第二連接管設置在所述爐體本體和所述抽氣泵之間；加熱底座，所述加熱底座設置在所述爐體本體的底部內壁上；真空泵，所述真空泵設置在所述爐體本體的頂部；放置平臺，所述放置平臺固定安裝在所述爐體本體的一側。本實用新型提供的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置具有可以對氣體進行混合，且混合效果好，進而提高反應效果的優點。

技術領域

本實用新型涉及化學氣相沉技術領域，尤其涉及一種化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置。

背景技術

化學氣相沉積是一種化工技術，該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。化學氣相淀積是近幾十年發展起來的制備無機材料的新技術。化學氣相淀積法已經廣泛用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態無機薄膜材料。

傳統的化學氣相沉積過程中需要通入多種氣體，多種氣體進入爐體中時，混合并不夠均勻，影響反應效果，因此，有必要提供一種化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題是提供一種可以對氣體進行混合，且混合效果好，進而提高反應效果的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，包括：爐體本體；抽氣泵，所述抽氣泵設置在所述爐體本體的一側；混氣機構，所述混氣機構設置在所述抽氣泵的一側；第二連接管，所述第二連接管設置在所述爐體本體和所述抽氣泵之間；加熱底座，所述加熱底座設置在所述爐體本體的底部內壁上；真空泵，所述真空泵設置在所述爐體本體的頂部；放置平臺，所述放置平臺固定安裝在所述爐體本體的一側。

優選的，所述混氣機構包括混氣箱、攪拌電機、攪拌槳、第一進氣管、第二進氣管、第三進氣管和第一連接管，所述混氣箱固定安裝在所述放置平臺上，所述攪拌電機固定安裝在所述混氣箱的頂部，所述攪拌槳固定安裝在所述攪拌電機的輸出軸上，所述第一進氣管、所述第二進氣管和所述第三進氣管均設置在所述混氣箱的一側，所述第一連接管設置在所述抽氣泵和所述混氣箱之間。

優選的，所述第一連接管的內部設置有電磁閥。

優選的，所述混氣箱的頂部開設有通孔，所述通孔的內部設置有密封軸承，所述密封軸承的外圈與所述通孔的內壁固定連接，所述密封軸承的內圈固定套設在所述攪拌槳上。

優選的，所述放置平臺的材質為不銹鋼材質。

優選的，所述爐體本體的一側還固定安裝有第一驅動馬達，所述第一驅動馬達的輸出軸上固定安裝有第一擾動葉片。

優選的，所述爐體本體的一側固定安裝有第二驅動馬達，所述第二驅動馬達的輸出軸上固定安裝有第二擾動葉片。

與相關技術相比較，本實用新型提供的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置具有如下有益效果：

本實用新型提供一種化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，把不同的氣體通入到混氣箱里，然后啟動攪拌電機，攪拌槳帶動不同的氣體進行充分的混合，最后啟動抽氣泵，進入到第二連接管中，使其進入到爐體本體中進行反應，為了提高反應的效果，可以同時啟動第一驅動馬達和第二驅動馬達，使得爐體本體內混合氣體流動起來，提高反應的效果。

附圖說明

圖1為本實用新型提供的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置第一實施例的結構示意圖；

圖2為本實用新型提供的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置第二實施例的示意圖。