[實用新型]一種化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置

有效

• 申請號: 202021030735.6
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN212770948U
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 賀鵬博;周帆
• 申請（專利權）人: 湖南鎧欣新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 張勇

1.一種化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，其特征在于，包括：

爐體本體；

抽氣泵，所述抽氣泵設置在所述爐體本體的一側；

混氣機構，所述混氣機構設置在所述抽氣泵的一側；

第二連接管，所述第二連接管設置在所述爐體本體和所述抽氣泵之間；

加熱底座，所述加熱底座設置在所述爐體本體的底部內壁上；

真空泵，所述真空泵設置在所述爐體本體的頂部；

放置平臺，所述放置平臺固定安裝在所述爐體本體的一側。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，其特征在于，所述混氣機構包括混氣箱、攪拌電機、攪拌槳、第一進氣管、第二進氣管、第三進氣管和第一連接管，所述混氣箱固定安裝在所述放置平臺上，所述攪拌電機固定安裝在所述混氣箱的頂部，所述攪拌槳固定安裝在所述攪拌電機的輸出軸上，所述第一進氣管、所述第二進氣管和所述第三進氣管均設置在所述混氣箱的一側，所述第一連接管設置在所述抽氣泵和所述混氣箱之間。

3.根據權利要求2所述的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，其特征在于，所述第一連接管的內部設置有電磁閥。

4.根據權利要求2所述的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，其特征在于，所述混氣箱的頂部開設有通孔，所述通孔的內部設置有密封軸承，所述密封軸承的外圈與所述通孔的內壁固定連接，所述密封軸承的內圈固定套設在所述攪拌槳上。

5.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，其特征在于，所述放置平臺的材質為不銹鋼材質。

6.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，其特征在于，所述爐體本體的一側還固定安裝有第一驅動馬達，所述第一驅動馬達的輸出軸上固定安裝有第一擾動葉片。

7.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐的輔助進氣裝置，其特征在于，所述爐體本體的一側固定安裝有第二驅動馬達，所述第二驅動馬達的輸出軸上固定安裝有第二擾動葉片。