[實用新型]一種新型頂針機構有效
| 申請號： | 202021030100.6 | 申請日： | 2020-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN211879360U | 公開（公告）日： | 2020-11-06 |
| 發明（設計）人： | 李輝;張亞坤;王體 | 申請（專利權）人： | 深圳市諾泰芯裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市中聯專利代理有限公司 44274 | 代理人： | 李俊 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區沙井*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 頂針 機構 | ||
1.一種新型頂針機構，包括針座(1)，其特征在于：所述針座(1)的一側設置有頂針(2)，所述頂針(2)的另一側連接有頂針鎖母(3)，所述頂針鎖母(3)的另一側安裝有頂針筒(4)，所述頂針筒(4)的另一側安裝有第一連接件(5)，所述第一連接件(5)的另一側安裝有直線軸套(6)，所述直線軸套(6)的另一側連接有滾珠直線軸承(7)，所述滾珠直線軸承(7)的另一側連接有第二連接件(12)，所述第二連接件(12)的背面設置有底座(14)。
2.根據權利要求1所述的一種新型頂針機構，其特征在于：所述底座(14)的正面設置有雙交叉滾子滑軌(13)，所述雙交叉滾子滑軌(13)與第二連接件(12)相適配。
3.根據權利要求1所述的一種新型頂針機構，其特征在于：所述頂針筒(4)的背面設置有真空連接頭(15)，所述第一連接件(5)的正面設置有第二彈簧拉桿(16)。
4.根據權利要求1所述的一種新型頂針機構，其特征在于：所述滾珠直線軸承(7)與第二連接件(12)連接處設置有密封圈(8)。
5.根據權利要求1所述的一種新型頂針機構，其特征在于：所述第二連接件(12)的一側正面安裝有第一彈簧拉桿(9)，所述第二連接件(12)的另一側正面安裝有凸輪隨動輪(11)。
6.根據權利要求1所述的一種新型頂針機構，其特征在于：所述頂針(2)在頂針筒(4)的內部連接有頂針桿(10)，所述頂針桿(10)的另一側延伸至第二連接件(12)處。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
