[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體貼膜機(jī)的料環(huán)選擇性定位裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021029598.4
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN212084960U
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊云龍;葛字平;胡章坤;吳贏杰
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 蘇州市小巨人知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32415
• 代理人: 胡亞蘭

1.一種用于半導(dǎo)體貼膜機(jī)的料環(huán)選擇性定位裝置，所述半導(dǎo)體貼膜機(jī)包括位于表面的貼膜工作面，所述貼膜工作面上設(shè)有用于限位放置半導(dǎo)體晶圓的工作限位盤，其特征在于，位于所述工作限位盤外周的貼膜工作面上設(shè)有外徑不相等且與所述工作限位盤同心設(shè)置的第一定位環(huán)和第二定位環(huán)，各定位環(huán)至少包括與料環(huán)定位安裝配合且呈間隔設(shè)置的第一定位孔和第二定位孔；其中，

所述第一定位環(huán)的下方設(shè)有與其第一定位孔和第二定位孔對應(yīng)選擇性插裝定位配合的第一插裝定位驅(qū)動組件；所述第二定位環(huán)的下方設(shè)有與其第一定位孔和第二定位孔對應(yīng)選擇性插裝定位配合的第二插裝定位驅(qū)動組件；

所述半導(dǎo)體貼膜機(jī)上還安裝有用于選擇性切換第一插裝定位驅(qū)動組件和第二插裝定位驅(qū)動組件進(jìn)行升降驅(qū)動的電子感應(yīng)開關(guān)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，所述電子感應(yīng)開關(guān)包括安裝在所述貼膜工作面上的感應(yīng)器，所述感應(yīng)器分別與第一插裝定位驅(qū)動組件和第二插裝定位驅(qū)動組件電連接；且所述感應(yīng)器內(nèi)固定安裝微動開關(guān)，同時所述微動開關(guān)用于與料環(huán)識別接觸并向所述感應(yīng)器選擇性發(fā)送微動信號，所述感應(yīng)器根據(jù)該微動信號選擇性切換所述第一插裝定位驅(qū)動組件和所述第二插裝定位驅(qū)動組件進(jìn)行升降驅(qū)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，所述第一定位環(huán)上的外徑大于所述第二定位環(huán)，所述微動開關(guān)的安裝位置位于所述第一定位環(huán)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，所述第一插裝定位驅(qū)動組件包括第一驅(qū)動安裝架，所述第一驅(qū)動安裝架的上端部分別設(shè)有與所述第一定位孔和第二定位孔對應(yīng)插裝定位配合的定位銷，且所述第一驅(qū)動安裝架的下端部與第一驅(qū)動器驅(qū)動安裝連接，所述第一驅(qū)動器用于所述第一驅(qū)動安裝架進(jìn)行選擇性上下升降運(yùn)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，所述第二插裝定位驅(qū)動組件包括第二驅(qū)動安裝架，所述第二驅(qū)動安裝架的上端部分別設(shè)有與所述第一定位孔和第二定位孔對應(yīng)插裝定位配合的定位銷，且所述第二驅(qū)動安裝架的下端部與第二驅(qū)動器驅(qū)動安裝連接，所述第二驅(qū)動器用于所述第二驅(qū)動安裝架進(jìn)行選擇性上下升降運(yùn)動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動器和所述第二驅(qū)動器采用氣缸或伺服電機(jī)驅(qū)動的絲桿絲母組件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動器和所述第二驅(qū)動器分別安裝在所述半導(dǎo)體貼膜機(jī)的底部。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，各定位環(huán)上的第一定位孔和第二定位孔之間的弧度角范圍為60-120゜。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的料環(huán)選擇性定位裝置，其特征在于，第一定位環(huán)和第二定位環(huán)之間的外徑間距范圍為1-5mm。