[實(shí)用新型]一種用于晶圓加工設(shè)備的升降機(jī)及晶圓加工設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021025692.2
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN212893672U
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃帥曦;何偉;金明;黃鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: B66F7/00
• 分類號: B66F7/00;B66F7/28;B66F17/00
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 張濤

本實(shí)用新型公開了提供一種用于晶圓加工設(shè)備的升降機(jī)，包含：載物臺；滑桿，載物臺設(shè)置于滑桿的頂部；絲桿，絲桿設(shè)置有外螺紋并與滑桿平行；驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)設(shè)置于絲桿頂部并驅(qū)動(dòng)絲桿沿軸線旋轉(zhuǎn)；連接塊，連接塊的第一部分固定連接至滑桿的底部，連接塊的第二部分包含內(nèi)螺紋，并與絲桿的外螺紋構(gòu)成螺紋副；制動(dòng)系統(tǒng)，制動(dòng)系統(tǒng)設(shè)置于絲桿的底部并響應(yīng)于驅(qū)動(dòng)馬達(dá)失效的信號而鎖定絲桿。該升降機(jī)能夠有效降低破片率、成本低廉并且安全性高。本實(shí)用新型同時(shí)提供一種包含上述升降機(jī)的晶圓加工設(shè)備。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于晶圓加工設(shè)備的升降機(jī)及包含該升降機(jī)的晶圓加工設(shè)備。

背景技術(shù)

現(xiàn)有E500型晶圓加工設(shè)備的升降機(jī)包含平行布置的滑桿和絲桿，設(shè)置于絲桿頂部的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)絲桿沿其軸線旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)絲桿上升。然而。該晶圓加工設(shè)備并未針對升降機(jī)設(shè)置制動(dòng)功能，當(dāng)升降機(jī)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)因失電等原因失效時(shí)，晶圓盒內(nèi)的晶圓會隨載物臺的下降而急速下降，若操作者此時(shí)正在執(zhí)行取片等動(dòng)作，則會與晶圓發(fā)生碰撞，導(dǎo)致破片和/或人員受傷。新式晶圓加工設(shè)備在絲桿頂部設(shè)置有制動(dòng)裝置，可響應(yīng)于驅(qū)動(dòng)馬達(dá)異常失電而停止升降機(jī)的升降動(dòng)作。一方面，機(jī)臺整體換新成本較高；另一方面，現(xiàn)有E500型晶圓加工設(shè)備受內(nèi)部結(jié)構(gòu)及空間的限制不允許在絲桿頂部加裝制動(dòng)裝置。

因此，如何對現(xiàn)有E500型晶圓加工設(shè)備進(jìn)行改造，以低成本使升降機(jī)具有制動(dòng)功能成為晶圓加工領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出了一種能夠有效降低破片率、安全性高并且成本低廉的升降機(jī)。本實(shí)用新型同時(shí)提供一種包含該升降機(jī)的晶圓加工設(shè)備。

根據(jù)本實(shí)用新型，提供一種用于晶圓加工設(shè)備的升降機(jī)，包含：

載物臺；

滑桿，載物臺設(shè)置于滑桿的頂部；

絲桿，絲桿設(shè)置有外螺紋并與滑桿平行；

驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)設(shè)置于絲桿頂部并驅(qū)動(dòng)絲桿沿軸線旋轉(zhuǎn)；

連接塊，連接塊的第一部分固定連接至滑桿的底部，連接塊的第二部分包含內(nèi)螺紋，并與絲桿的外螺紋構(gòu)成螺紋副；

制動(dòng)系統(tǒng)，制動(dòng)系統(tǒng)設(shè)置于絲桿的底部并響應(yīng)于驅(qū)動(dòng)馬達(dá)失效的信號而鎖定絲桿。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，制動(dòng)系統(tǒng)包含：

電源模塊；

信號接收模塊，信號接收模塊與電源模塊電連接；

信號運(yùn)算模塊，信號運(yùn)算模塊與電源模塊電連接，并與信號接收模塊通信連接；

制動(dòng)驅(qū)動(dòng)模塊，制動(dòng)驅(qū)動(dòng)模塊與電源模塊電連接并與信號運(yùn)算模塊通信連接；以及

抱剎裝置，抱剎裝置與制動(dòng)驅(qū)動(dòng)模塊連接；

其中，

信號接收模塊接收與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相關(guān)的信號，信號運(yùn)算模塊對驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相關(guān)的信號進(jìn)行判斷并發(fā)送驅(qū)動(dòng)馬達(dá)失效的信號，制動(dòng)驅(qū)動(dòng)模塊在接收到驅(qū)動(dòng)馬達(dá)失效的信號后驅(qū)動(dòng)抱剎裝置鎖定絲桿。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，信號接收模塊與升降機(jī)的電源通信連接，與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相關(guān)的信號包含來自電源的電壓信號。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，信號接收模塊與升降機(jī)的控制電路通信連接，與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相關(guān)的信號包含來自控制電路的光纖信號。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，信號接收模塊與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)通信連接，與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相關(guān)的信號包含來自驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的馬達(dá)信號。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，抱剎裝置包含電磁線圈和閘片，其中，

當(dāng)電磁線圈通電時(shí)，閘片彼此分離以允許絲桿旋轉(zhuǎn)；