[實用新型]一種用于晶圓加工設備的升降機及晶圓加工設備

有效

• 申請號: 202021025692.2
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN212893672U
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 黃帥曦;何偉;金明;黃鵬
• 申請（專利權）人: 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: B66F7/00
• 分類號: B66F7/00;B66F7/28;B66F17/00
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 張濤

1.一種用于晶圓加工設備的升降機，其特征在于，包含：

載物臺；

滑桿，所述載物臺設置于所述滑桿的頂部；

絲桿，所述絲桿設置有外螺紋并與所述滑桿平行；

驅動馬達，所述驅動馬達設置于所述絲桿頂部并驅動所述絲桿沿軸線旋轉；

連接塊，所述連接塊的第一部分固定連接至所述滑桿的底部，所述連接塊的第二部分包含內螺紋，并與所述絲桿的外螺紋構成螺紋副；

制動系統，所述制動系統設置于所述絲桿的底部并響應于所述驅動馬達失效的信號而鎖定所述絲桿。

2.根據權利要求1所述的用于晶圓加工設備的升降機，其特征在于，所述制動系統包含：

電源模塊；

信號接收模塊，所述信號接收模塊與所述電源模塊電連接；

信號運算模塊，所述信號運算模塊與所述電源模塊電連接，并與所述信號接收模塊通信連接；

制動驅動模塊，所述制動驅動模塊與所述電源模塊電連接并與所述信號運算模塊通信連接；以及

抱剎裝置，所述抱剎裝置與所述制動驅動模塊連接；

其中，

所述信號接收模塊接收與所述驅動馬達相關的信號，所述信號運算模塊對所述驅動馬達相關的信號進行判斷并發送所述驅動馬達失效的信號，所述制動驅動模塊在接收到所述驅動馬達失效的信號后驅動所述抱剎裝置鎖定所述絲桿。

3.根據權利要求2所述的用于晶圓加工設備的升降機，其特征在于，所述信號接收模塊與所述升降機的電源通信連接，與所述驅動馬達相關的信號包含來自所述電源的電壓信號。

4.根據權利要求2所述的用于晶圓加工設備的升降機，其特征在于，所述信號接收模塊與所述升降機的控制電路通信連接，與所述驅動馬達相關的信號包含來自所述控制電路的光纖信號。

5.根據權利要求2所述的用于晶圓加工設備的升降機，其特征在于，所述信號接收模塊與所述驅動馬達通信連接，與所述驅動馬達相關的信號包含來自所述驅動馬達的馬達信號。

6.根據權利要求2所述的用于晶圓加工設備的升降機，其特征在于，所述抱剎裝置包含電磁線圈和閘片，其中，

當所述電磁線圈通電時，所述閘片彼此分離以允許所述絲桿旋轉；

當所述電磁線圈斷電時，所述閘片彼此聚合以鎖定所述絲桿。

7.根據權利要求1所述的用于晶圓加工設備的升降機，其特征在于，所述升降機包含警報裝置，所述警報裝置配置成響應于所述制動系統失效而報警。

8.一種晶圓加工設備，其特征在于，包含如權利要求1-7中任一項所述的升降機。

9.根據權利要求8所述的晶圓加工設備，其特征在于，包含用于容納并定位所述升降機的殼體。

10.根據權利要求9所述的晶圓加工設備，其特征在于，所述殼體由隔板分為操作室和控制室，其中，絲桿、驅動馬達、連接塊和制動系統設置于所述控制室內，載物臺設置于所述操作室內，滑桿穿過所述隔板上的通孔連接所述載物臺和所述連接塊。