[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用圓晶表面拋光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021022134.0
• 申請(qǐng)日: 2020-06-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212683550U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王璐瑤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江明哲電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B55/02
• 代理公司: 合肥市科融知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34126
• 代理人: 趙榮

1.一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用圓晶表面拋光裝置，包括箱體(1)；

其特征在于：

所述箱體(1)的右側(cè)上方開(kāi)有排泄口(2)，所述箱體(1)的前方頂端固定固定安裝有固定座(13)，所述固定座(13)的上方固定安裝有氣缸一(12)，所述氣缸一(12)的上方頂端固定安裝有頂板(10)，所述頂板(10)和氣缸一(12)通過(guò)固定螺栓二(11)固定連接，所述頂板(10)的頂端下方固定安裝有電動(dòng)機(jī)二(19)，所述電動(dòng)機(jī)二(19)的下方底部固定安裝有打磨頭(20)，所述箱體(1)的右側(cè)上方固定安裝有電動(dòng)機(jī)一(3)，所述電動(dòng)機(jī)一(3)和箱體(1)通過(guò)固定板(5)固定連接，所述固定板(5)和箱體(1)通過(guò)固定螺栓一(4)固定連接，所述箱體(1)的上方中心位置安裝有安裝基座(6)，所述安裝基座(6)和電動(dòng)機(jī)一(3)的前方頂端固定連接，所述安裝基座(6)的上方固定安裝有連接板(21)，所述連接板(21)的上方固定安裝有氣缸二(23)，所述氣缸二(23)和連接板(21)通過(guò)支撐板(22)固定連接，所述氣缸二(23)的前方固定安裝有夾緊板(24)，所述夾緊板(24)的內(nèi)側(cè)安裝有圓晶(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用圓晶表面拋光裝置，其特征在于：所述頂板(10)的上方左側(cè)固定安裝有冷卻器(9)，所述頂板(10)的上方中心位置固定安裝有水泵(15)，所述水泵(15)和冷卻器(9)通過(guò)輸出管道(17)固定相連，所述輸出管道(17)是前方頂端和冷卻器(9)的后側(cè)下方固定相連，所述輸出管道(17)的末端安裝在打磨頭(20)的右側(cè)，所述輸出管道(17)和頂板(10)通過(guò)固定塊(16)固定連接，所述輸出管道(17)的末端和頂板(10)的右側(cè)通過(guò)連接塊(18)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用圓晶表面拋光裝置，其特征在于：所述氣缸二(23)有四個(gè)，四個(gè)所述氣缸二(23)分別固定安裝在連接板(21)的上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用圓晶表面拋光裝置，其特征在于：所述夾緊板(24)的前方固定安裝有防護(hù)墊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用圓晶表面拋光裝置，其特征在于：所述箱體(1)的下方為空腔體，所述空腔體的底部開(kāi)有收集槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用圓晶表面拋光裝置，其特征在于：所述打磨頭(20)的直徑與圓晶(8)的直徑相等，所述打磨頭(20)的回轉(zhuǎn)中心與圓晶(8)的回轉(zhuǎn)中心重合。