[實用新型]一種電子束蒸發臺加熱器裝置

有效

• 申請號: 202021011687.6
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212388103U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 馬溢華
• 申請（專利權）人: 無錫芯譜半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 韓璐

本實用新型屬于電子束蒸發法技術領域，尤其是一種電子束蒸發臺加熱器裝置，包括電子束蒸發臺，所述電子束蒸發臺的一側開設有安裝槽，且安裝槽內卡裝有安裝板，所述安裝板的兩側均固定安裝有固定板，所述固定板上開設有對稱設置的兩個固定槽，所述電子束蒸發臺的一側固定安裝有兩個對稱設置的固定座，所述固定板的一側貼合有對稱設置的兩個轉動塊，且轉動塊和相對應的固定槽相適配，所述轉動塊的兩側均固定安裝有條形板；本實用新型操作方便，只需要簡單的幾個操作步驟便可以將電子加速器拆下，大大方便了維修人員對電子加速器的維修，提高了電子加速器拆卸效率，簡化了電子加速器的拆卸步驟，具有較強的實用性。

技術領域

本實用新型涉及電子束蒸發法技術領域，尤其涉及一種電子束蒸發臺加熱器裝置。

背景技術

電子束蒸發法是真空蒸發鍍膜的一種，是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料，使蒸發材料氣化并向基板輸運，在基底上凝結形成薄膜的方法。在電子束加熱裝置中，被加熱的物質放置于水冷的坩堝中，可避免蒸發材料與坩堝壁發生反應影響薄膜的質量，因此，電子束蒸發沉積法可以制備高純薄膜，同時在同一蒸發沉積裝置中可以安置多個坩堝，實現同時或分別蒸發，沉積多種不同的物質。通過電子束蒸發，任何材料都可以被蒸發，不同材料需要采用不同類型的增竭以獲得所要達到的蒸發率。

目前的電子束蒸發臺在加熱裝置主要依靠電子加速器產生電子束直接加熱蒸發材料，從而達到了加熱的目的，而目前的電子加速器在使用的過程中，常常會出現機械故障，而人工對其進行拆卸時，操作較為復雜，所以我們提出了一種電子束蒸發臺加熱器裝置，用以解決上述所提出的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種電子束蒸發臺加熱器裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種電子束蒸發臺加熱器裝置，包括電子束蒸發臺，所述電子束蒸發臺的一側開設有安裝槽，且安裝槽內卡裝有安裝板，所述安裝板的兩側均固定安裝有固定板，所述固定板上開設有對稱設置的兩個固定槽，所述電子束蒸發臺的一側固定安裝有兩個對稱設置的固定座，所述固定板的一側貼合有對稱設置的兩個轉動塊，且轉動塊和相對應的固定槽相適配，所述轉動塊的兩側均固定安裝有條形板，且條形板的一側和固定板的一側相貼合，所述轉動塊的一側固定安裝有螺桿，所述轉動塊的一側開設有螺紋槽，所述螺桿的一端貫穿固定槽并延伸至相對應的螺紋槽內且和螺紋槽螺紋連接，所述固定座的一側固定安裝有彈性組件，所述螺桿貫穿彈性組件，所述彈性組件的一側和固定板的一側相貼合。

優選的，所述安裝板的外側套設有密封墊，且安裝板通過密封墊和安裝槽密封卡合。

優選的，所述彈性組件包括固定安裝在固定座一側的復位彈簧，所述復位彈簧的一端固定安裝有承壓板，所述承壓板的中心位置上開設有通孔，所述螺桿的一端貫穿通孔和復位彈簧，所述承壓板的一側和固定板的一側相貼合，所述承壓板上固定安裝有限位組件，所述限位組件的一側和電子束蒸發臺的一側固定連接，通過順時針轉動螺桿，可以推動固定板向靠近電子束蒸發臺的一側進行移動，進而可以壓縮彈性組件，在彈性組件的復位彈力下，可以對固定板施加反向作用力，從而可以使得固定板固定后不易松動。

優選的，所述轉動塊的一側固定安裝有旋鈕塊，且旋鈕塊的外側套設有螺紋橡膠套，利用旋鈕塊可以方便轉動轉動塊進行轉動。

優選的，所述限位組件包括固定安裝在承壓板一側的兩個限位套筒，所述限位套筒內滑動連接有滑動板，所述滑動板的一端固定安裝有限位桿，所述限位桿的一端延伸至限位套筒的一側并和電子束蒸發臺的一側固定連接，當固定板壓動承壓板進行移動時，會使得限位桿在限位套筒內進行滑動，從而可以對承壓板縱向移動進行限位，使其縱向移動時保持穩固，且不會發生偏移。