[實用新型]一種電子束蒸發(fā)臺加熱器裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021011687.6
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212388103U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬溢華
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫芯譜半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 韓璐

1.一種電子束蒸發(fā)臺加熱器裝置，包括電子束蒸發(fā)臺(1)，其特征在于，所述電子束蒸發(fā)臺(1)的一側(cè)開設(shè)有安裝槽(2)，且安裝槽(2)內(nèi)卡裝有安裝板(3)，所述安裝板(3)的兩側(cè)均固定安裝有固定板(4)，所述固定板(4)上開設(shè)有對稱設(shè)置的兩個固定槽(5)，所述電子束蒸發(fā)臺(1)的一側(cè)固定安裝有兩個對稱設(shè)置的固定座(9)，所述固定板(4)的一側(cè)貼合有對稱設(shè)置的兩個轉(zhuǎn)動塊(6)，且轉(zhuǎn)動塊(6)和相對應(yīng)的固定槽(5)相適配，所述轉(zhuǎn)動塊(6)的兩側(cè)均固定安裝有條形板(7)，且條形板(7)的一側(cè)和固定板(4)的一側(cè)相貼合，所述轉(zhuǎn)動塊(6)的一側(cè)固定安裝有螺桿(8)，所述轉(zhuǎn)動塊(6)的一側(cè)開設(shè)有螺紋槽(10)，所述螺桿(8)的一端貫穿固定槽(5)并延伸至相對應(yīng)的螺紋槽(10)內(nèi)且和螺紋槽(10)螺紋連接，所述固定座(9)的一側(cè)固定安裝有彈性組件，所述螺桿(8)貫穿彈性組件，所述彈性組件的一側(cè)和固定板(4)的一側(cè)相貼合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺加熱器裝置，其特征在于，所述安裝板(3)的外側(cè)套設(shè)有密封墊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺加熱器裝置，其特征在于，所述彈性組件包括固定安裝在固定座(9)一側(cè)的復(fù)位彈簧(11)，所述復(fù)位彈簧(11)的一端固定安裝有承壓板(12)，所述承壓板(12)的中心位置上開設(shè)有通孔(14)，所述螺桿(8)的一端貫穿通孔(14)和復(fù)位彈簧(11)，所述承壓板(12)的一側(cè)和固定板(4)的一側(cè)相貼合，所述承壓板(12)上固定安裝有限位組件(13)，所述限位組件(13)的一側(cè)和電子束蒸發(fā)臺(1)的一側(cè)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺加熱器裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動塊(6)的一側(cè)固定安裝有旋鈕塊，且旋鈕塊的外側(cè)套設(shè)有螺紋橡膠套。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種電子束蒸發(fā)臺加熱器裝置，其特征在于，所述限位組件包括固定安裝在承壓板(12)一側(cè)的兩個限位套筒(1302)，所述限位套筒(1302)內(nèi)滑動連接有滑動板(1303)，所述滑動板(1303)的一端固定安裝有限位桿(1301)，所述限位桿(1301)的一端延伸至限位套筒(1302)的一側(cè)并和電子束蒸發(fā)臺(1)的一側(cè)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種電子束蒸發(fā)臺加熱器裝置，其特征在于，所述限位套筒(1302)的內(nèi)部側(cè)壁上均固定嵌裝有對稱設(shè)置的兩個滑軌，所述滑動板(1303)的兩側(cè)均固定安裝有滑塊，且兩個滑塊分別和兩個滑軌滑動連接。