[實用新型]一種電子束蒸發臺機械齒輪傳動結構

有效

• 申請號: 202021011528.6
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212388102U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 馬溢華
• 申請（專利權）人: 無錫芯譜半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;F16H37/04
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 韓璐

本實用新型屬于電子束蒸發臺技術領域，尤其是一種電子束蒸發臺機械齒輪傳動結構，現提出如下方案，其包括電子束蒸發臺，所述電子束蒸發臺上設置有用于連接外部動力結構的驅動軸，所述電子束蒸發臺的一側孤固定安裝有防護座，且防護座上開設有防護腔，所述驅動軸的一端延伸至防護腔內并固定套設有驅動齒輪；本實用新型的電子束蒸發臺的傳動結構設計簡單巧妙，通過啟動旋轉電機，可以實現了對第一調速齒輪和第二調速齒輪進行縱向移動，而當第一調速齒輪或者第二調速齒輪和驅動齒輪相嚙合的不同傳動部件，可以達到帶動驅動齒輪轉動的速度也不相同，進而可以實現了電子束蒸發臺根據使用需求進行調速的目的。

技術領域

本實用新型涉及電子束蒸發臺技術領域，尤其涉及一種電子束蒸發臺機械齒輪傳動結構。

背景技術

電子束蒸發法是真空蒸發鍍膜的一種，是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料，使蒸發材料氣化并向基板輸運，在基底上凝結形成薄膜的方法。在電子束加熱裝置中，被加熱的物質放置于水冷的坩堝中，可避免蒸發材料與坩堝壁發生反應影響薄膜的質量，因此，電子束蒸發沉積法可以制備高純薄膜，同時在同一蒸發沉積裝置中可以安置多個坩堝，實現同時或分別蒸發，沉積多種不同的物質。通過電子束蒸發，任何材料都可以被蒸發，不同材料需要采用不同類型的增竭以獲得所要達到的蒸發率。

目前的電子束蒸發臺機在驅動的過程中，需要使用外部的動力機械對其進行驅動，且此動力機械的輸出動力轉速無法進行調節，進而直接的導致了在機械動力輸出的過程中，造成部分動力過剩的問題，所以我們提出了一種電子束蒸發臺機械齒輪傳動結構，用以解決上述所提出的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種電子束蒸發臺機械齒輪傳動結構。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種電子束蒸發臺機械齒輪傳動結構，包括電子束蒸發臺，所述電子束蒸發臺上設置有用于連接外部動力結構的驅動軸，所述電子束蒸發臺的一側孤固定安裝有防護座，且防護座上開設有防護腔，所述驅動軸的一端延伸至防護腔內并固定套設有驅動齒輪，所述防護腔的一側內壁上縱向滑動連接有調節板，所述調節板的頂部和底部分別固定安裝有第一L形板和第二L形板，所述第二L形板的一側轉動連接有第一調速齒輪，所述第一L形板的一側轉動連接有第二調速齒輪，所述調節板的一側固定安裝有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸上固定安裝有主動輪，所述第一調速齒輪的一側圓心位置上和第二調速齒輪的一側圓心位置上均固定安裝有從動輪，所述主動輪的外側和從動輪的外側套設有同一個同步帶，所述調節板的一側固定安裝有連接板，所述連接板的一側固定安裝有對稱設置的兩個固定板，所述固定板上固定嵌裝有螺母，所述防護腔的底部內壁上固定安裝有旋轉電機，所述旋轉電機的輸出軸上固定安裝有螺桿，且螺桿的頂部貫穿兩個螺母的內圈并和螺母的內圈固定連接。

優選的，所述防護腔的一側開設有維修孔，且維修孔內嵌裝有防護板，所述防護板的頂部和底部均固定安裝有固定塊，所述固定塊上螺紋連接有對稱設置的兩個固定螺栓，且固定螺栓的一端延伸至電子束蒸發臺內并和電子束蒸發臺螺紋連接，通過設置防護板便于打開防護腔，從而當防護腔內的機械構件出現問題時，可以打開防護腔對內部的機械部件進行維修。

優選的，所述防護腔的一側內壁上固定安裝有對稱設置的兩個限位塊，且兩個限位塊分別位于連接板的上方和下方，進而利用兩個限位塊可以為連接板的上下縱向移動的距離進行限位。

優選的，所述第一L形板和第二L形板的一側均固定安裝有滑塊，所述防護腔的一側內壁固定安裝有滑軌，且兩個滑塊均和滑軌滑動連接，利用滑塊和滑軌可以使得第一L形板和第二L形板縱向移動保持穩固，且不會發生偏移。

優選的，所述防護腔的一側內壁上固定有軸承，所述驅動軸貫穿軸承的內圈并和軸承的內圈固定連接，利用軸承可以為驅動軸提供轉動支撐。