[實用新型]一種電子束蒸發(fā)臺機械齒輪傳動結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021011528.6
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212388102U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設計）人: 馬溢華
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫芯譜半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;F16H37/04
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 韓璐

1.一種電子束蒸發(fā)臺機械齒輪傳動結(jié)構(gòu)，包括電子束蒸發(fā)臺(1)，其特征在于，所述電子束蒸發(fā)臺(1)上設置有用于連接外部動力結(jié)構(gòu)的驅(qū)動軸(12)，所述電子束蒸發(fā)臺(1)的一側(cè)孤固定安裝有防護座(2)，且防護座(2)上開設有防護腔(6)，所述驅(qū)動軸(12)的一端延伸至防護腔(6)內(nèi)并固定套設有驅(qū)動齒輪(13)，所述防護腔(6)的一側(cè)內(nèi)壁上縱向滑動連接有調(diào)節(jié)板(7)，所述調(diào)節(jié)板(7)的頂部和底部分別固定安裝有第一L形板(8)和第二L形板(9)，所述第二L形板(9)的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有第一調(diào)速齒輪(10)，所述第一L形板(8)的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有第二調(diào)速齒輪(11)，所述調(diào)節(jié)板(7)的一側(cè)固定安裝有驅(qū)動電機(14)，所述驅(qū)動電機(14)的輸出軸上固定安裝有主動輪(15)，所述第一調(diào)速齒輪(10)的一側(cè)圓心位置上和第二調(diào)速齒輪(11)的一側(cè)圓心位置上均固定安裝有從動輪(16)，所述主動輪(15)的外側(cè)和從動輪(16)的外側(cè)套設有同一個同步帶(17)，所述調(diào)節(jié)板(7)的一側(cè)固定安裝有連接板(18)，所述連接板(18)的一側(cè)固定安裝有對稱設置的兩個固定板(19)，所述固定板(19)上固定嵌裝有螺母(22)，所述防護腔(6)的底部內(nèi)壁上固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機(21)，所述旋轉(zhuǎn)電機(21)的輸出軸上固定安裝有螺桿(20)，且螺桿(20)的頂部貫穿兩個螺母(22)的內(nèi)圈并和螺母(22)的內(nèi)圈固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺機械齒輪傳動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防護腔(6)的一側(cè)開設有維修孔，且維修孔內(nèi)嵌裝有防護板(3)，所述防護板(3)的頂部和底部均固定安裝有固定塊(4)，所述固定塊(4)上螺紋連接有對稱設置的兩個固定螺栓(5)，且固定螺栓(5)的一端延伸至電子束蒸發(fā)臺(1)內(nèi)并和電子束蒸發(fā)臺(1)螺紋連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺機械齒輪傳動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防護腔(6)的一側(cè)內(nèi)壁上固定安裝有對稱設置的兩個限位塊，且兩個限位塊分別位于連接板(18)的上方和下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺機械齒輪傳動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一L形板(8)和第二L形板(9)的一側(cè)均固定安裝有滑塊，所述防護腔(6)的一側(cè)內(nèi)壁固定安裝有滑軌，且兩個滑塊均和滑軌滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺機械齒輪傳動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防護腔(6)的一側(cè)內(nèi)壁上固定有軸承，所述驅(qū)動軸(12)貫穿軸承的內(nèi)圈并和軸承的內(nèi)圈固定連接。