[實用新型]一種電子束蒸發臺用行星盤結構

有效

• 申請號: 202021011408.6
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212270226U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 馬溢華
• 申請（專利權）人: 無錫芯譜半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/30;C23C14/16
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 韓璐

本實用新型屬涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種電子束蒸發臺用行星盤結構，現提出如下方案，其包括；它包含支架、支撐臂、一號轉軸、行星盤、轉輪、二號轉軸；所述的支架的上側設有數個一號螺孔，支架的外壁上固定有數個支撐臂，支撐臂的下側活動穿設有一號轉軸；所述的一號轉軸的前端穿過行星盤后，與限位螺母過盈設置，行星盤設于支撐臂的內側，限位螺母設于行星盤的內側；所述的行星盤上設有數個硅片通孔；所述的一號轉軸的后端穿過轉輪后，與限位輪過盈設置，轉輪設于支撐臂的外側；采用軌道滑輪懸掛結構，減小行星盤的震動，防滑防震，避免碎片，行星盤公轉加自轉使得硅片受熱均勻，提高金屬膜的均勻性，而且養護操作方便。

技術領域

本實用新型涉及半導體設備技術領域，具體涉及一種電子束蒸發臺用行星盤結構。

背景技術

半導體制造設備電子束蒸發臺是將待蒸發的材料放置進坩堝，在真空系統中用電子束加熱并使其蒸發，撞擊到硅片表面凝結形成金屬薄膜。在這個工程中，硅片是被固定在一個行星盤結構的裝置上的，該裝置的旋轉速度的可靠穩定性和旋轉的方式都直接影響到金屬薄膜的厚度，均勻性等工藝參數。

現有的半導體設備的行星盤在生產過程中會出現震動，還會出現碎片的情況，而且現有的行星盤結構會導致硅片受熱不均勻，且后期養護繁瑣，亟待改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于針對現有技術的缺陷和不足，提供一種結構簡單，設計合理、使用方便的電子束蒸發臺用行星盤結構，采用軌道滑輪懸掛結構，減小行星盤的震動，防滑防震，避免碎片，行星盤公轉加自轉使得硅片受熱均勻，提高金屬膜的均勻性，而且養護操作方便。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：它包含支架、支撐臂、一號轉軸、行星盤、轉輪、二號轉軸；所述的支架的上側設有數個一號螺孔，支架的外壁上固定有數個支撐臂，支撐臂的下側活動穿設有一號轉軸；所述的一號轉軸的前端穿過行星盤后，與限位螺母過盈設置，行星盤設于支撐臂的內側，限位螺母設于行星盤的內側；所述的行星盤上設有數個硅片通孔；所述的一號轉軸的后端穿過轉輪后，與限位輪過盈設置，轉輪設于支撐臂的外側，限位輪設于轉輪的外側；所述的支架的下側設有二號轉軸，二號轉軸固定于外部的電子束蒸發臺內，二號轉軸的上側設有滑槽，轉輪的下側滑動卡設于滑槽內。

進一步地，所述的二號轉軸上設有數個二號螺孔，二號螺孔設于滑槽的外側。

進一步地，所述的硅片通孔內設有承片卡圈。

進一步地，所述的支架上設有數個三號螺孔，三號螺孔設于一號螺孔的內側。

進一步地，所述的行星盤為傘狀結構。

進一步地，所述的硅片通孔的數量為5個。

采用上述結構后，本實用新型有益效果為：本實用新型所述的一種電子束蒸發臺用行星盤結構，采用軌道滑輪懸掛結構，減小行星盤的震動，防滑防震，避免碎片，行星盤公轉加自轉使得硅片受熱均勻，提高金屬膜的均勻性，而且養護操作方便，本實用新型具有結構簡單，設置合理，制作成本低等優點。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是本實用新型中支撐臂、一號轉軸、行星盤之間的連接結構示意圖。

圖3是本實用新型中硅片通孔的示意圖。

附圖標記說明：