[實用新型]一種電子束蒸發臺用行星盤結構

有效

• 申請號: 202021011408.6
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212270226U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 馬溢華
• 申請（專利權）人: 無錫芯譜半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/30;C23C14/16
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 韓璐

1.一種電子束蒸發臺用行星盤結構，其特征在于：它包含支架(1)、支撐臂(2)、一號轉軸(3)、行星盤(4)、轉輪(5)、二號轉軸(7)；所述的支架(1)的上側設有數個一號螺孔(1-1)，支架(1)的外壁上固定有數個支撐臂(2)，支撐臂(2)的下側活動穿設有一號轉軸(3)；所述的一號轉軸(3)的前端穿過行星盤(4)后，與限位螺母(3-1)過盈設置，行星盤(4)設于支撐臂(2)的內側，限位螺母(3-1)設于行星盤(4)的內側；所述的行星盤(4)上設有數個硅片通孔(4-1)；所述的一號轉軸(3)的后端穿過轉輪(5)后，與限位輪(6)過盈設置，轉輪(5)設于支撐臂(2)的外側，限位輪(6)設于轉輪(5)的外側；所述的支架(1)的下側設有二號轉軸(7)，二號轉軸(7)固定于外部的電子束蒸發臺內，二號轉軸(7)的上側設有滑槽(7-1)，轉輪(5)的下側滑動卡設于滑槽(7-1)內。

2.根據權利要求1所述的一種電子束蒸發臺用行星盤結構，其特征在于：所述的二號轉軸(7)上設有數個二號螺孔(7-2)，二號螺孔(7-2)設于滑槽(7-1)的外側。

3.根據權利要求1所述的一種電子束蒸發臺用行星盤結構，其特征在于：所述的硅片通孔(4-1)內設有承片卡圈(4-1-1)。

4.根據權利要求1所述的一種電子束蒸發臺用行星盤結構，其特征在于：所述的支架(1)上設有數個三號螺孔(1-2)，三號螺孔(1-2)設于一號螺孔(1-1)的內側。

5.根據權利要求1所述的一種電子束蒸發臺用行星盤結構，其特征在于：所述的行星盤(4)為傘狀結構。

6.根據權利要求1所述的一種電子束蒸發臺用行星盤結構，其特征在于：所述的硅片通孔(4-1)的數量為5個。