[實用新型]單體氣化裝置及其應用的鍍膜設備

有效

• 申請號: 202020997062.5
• 申請日: 2020-06-03
• 公開（公告）號: CN213142177U
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 高文波;李小彭
• 申請（專利權）人: 洛陽生波爾真空裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54;C23C16/54;C23C16/52;G01F23/00;G01K13/02
• 代理公司: 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙) 44327
• 代理人: 石仁

1.單體氣化裝置，其特征在于，包括箱體(1)，所述箱體(1)內設有用于封裝液態單體氣的單體容器(2)以及用于對所述單體容器(2)恒溫加熱的恒溫加熱系統(5)，所述單體容器(2)上還設有出氣管(4)，通過所述恒溫加熱系統(5)對單體容器(2)加熱使液態單體氣氣化并使氣化后的單體氣形成一定的帶壓氣源從出氣管(4)流出，且所述單體容器(2)上還設有用于檢測單體容器(2)內液態單體氣的余量的單體液位測量裝置(3)。

2.根據權利要求1所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述箱體(1)內位于所述單體容器(2)的外周設有注水腔(11)，所述恒溫加熱系統(5)加熱所述注水腔(11)內的液體進而恒溫加熱所述單體容器(2)。

3.根據權利要求2所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述恒溫加熱系統(5)包括加熱器(51)、液位傳感器(52)以及溫度傳感器，所述加熱器(51)設于所述注水腔(11)內，所述溫度傳感器和所述液位傳感器(52)均連接所述加熱器(51)，所述溫度傳感器用于實時檢測水溫，并在水溫未達標時控制加熱器加熱以調節水溫，所述液位傳感器(52)設于箱體(1)的側壁，用于測量水位且在水位過低時停止加熱器(51)的加熱。

4.根據權利要求1所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述箱體(1)的內側設有用于放置所述單體容器(2)的座板(6)，所述座板(6)的下側設有多個間隔設置并與所述箱體(1)底部相連用于支撐所述座板(6)的支撐板(7)。

5.根據權利要求2所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述箱體(1)還包括用于密封所述注水腔(11)的蓋板(12)，所述單體液位測量裝置(3)固定于所述蓋板(12)上。

6.根據權利要求1所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述單體液位測量裝置(3)包括磁感液位計(31)和與所述磁感液位計(31)相連伸入單體容器(2)內的測量管(32)。

7.根據權利要求2所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述箱體(1)還包括設于所述注水腔(11)外側的夾層腔體(13)。

8.根據權利要求2所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述箱體(1)的底部外壁設有與所述注水腔(11)連通的注水口(101)，所述箱體(1)的頂部外壁設有與所述注水腔(11)連通的溢流口(102)。

9.根據權利要求2所述的單體氣化裝置，其特征在于，所述箱體(1)的側壁還設有與所述注水腔(11)連通的放水口(103)。

10.鍍膜設備，其特征在于：包括權利要求1-9任一項所述的單體氣化裝置。