[實(shí)用新型]一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020980937.0
• 申請日: 2020-06-02
• 公開（公告）號(hào): CN213175232U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭頌;王鋮熠;程實(shí)然;劉海洋;張瑤瑤;張軍;胡冬冬;許開東
• 申請（專利權(quán)）人: 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): E05D3/18
• 分類號(hào): E05D3/18;H01J37/32
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 曹佩佩

本實(shí)用新型公開了一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，包括腔體和安裝在腔體上的腔門，所述腔門的一側(cè)通過鉸鏈組件安裝在腔體上，在鉸鏈組件安裝處設(shè)有水平導(dǎo)向組件；所述水平導(dǎo)向組件包括第三固定件、直線導(dǎo)軌和滑塊；所述第三固定件固定安裝在腔體外壁上，所述直線導(dǎo)軌的一端固定連接在第三固定件上，所述滑塊的末端固定在腔門上，滑塊在直線導(dǎo)軌上滑動(dòng)。本實(shí)用新型公開的一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，通過水平導(dǎo)向組件將腔體門平直拉離腔體至最遠(yuǎn)處后，再將腔體門翻轉(zhuǎn)打開，將目前不定向的腔體門開合結(jié)構(gòu)進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)軌跡的限定，解決了目前腔體門開合容易損壞門內(nèi)零部件、對(duì)操作要求高的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，特別是一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

離子束刻蝕是利用低能量平行Ar+離子束對(duì)基片表面進(jìn)行轟擊，將基片表面未覆蓋掩膜的部分濺射出，從而達(dá)到選擇刻蝕的目的。離子束刻蝕是純物理刻蝕過程，在各種常規(guī)刻蝕方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特點(diǎn)，并且可以對(duì)絕大部分材料進(jìn)行刻蝕，例如：金屬、合金、氧化物、化合物、混合材料、半導(dǎo)體、絕緣體、超導(dǎo)體等材料。

常規(guī)離子束刻蝕機(jī)采用圓形離子源，但隨著刻蝕基片尺寸的增大，圓形離子源部件的加工難度顯著增大，大尺寸柵網(wǎng)也變形嚴(yán)重，造成束流均勻性呈下降趨勢，圓形離子源不適應(yīng)大尺寸基片的刻蝕。

常規(guī)離子束刻蝕機(jī)采一般都會(huì)有一個(gè)腔體和一個(gè)鉸鏈連接的腔門，而在門內(nèi)的表面上均會(huì)設(shè)置一些重要零部件，這些零部件均是需要維護(hù)的，這就要求在關(guān)閉腔門時(shí)，必須操作準(zhǔn)確，在準(zhǔn)確關(guān)閉腔門時(shí)，還要求力度合適，不得使腔門撞擊在腔門上，防止門內(nèi)的零部件受到撞擊導(dǎo)致?lián)p害，因此，設(shè)計(jì)一種準(zhǔn)確關(guān)閉腔門且操作準(zhǔn)確、力度適中的開關(guān)門結(jié)構(gòu)是本領(lǐng)域人員急需解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，該離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)在保證準(zhǔn)確關(guān)閉離子束刻蝕機(jī)的腔門的同時(shí)，不會(huì)造成腔門內(nèi)壁上的零部件損壞。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：

一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，包括腔體和安裝在腔體上的腔門，

所述腔門的一側(cè)通過鉸鏈組件安裝在腔體上，在腔門與腔體的鉸鏈組件安裝處設(shè)有水平導(dǎo)向組件；所述鉸鏈組件包括第一連桿、第二連桿、第一轉(zhuǎn)軸、第二轉(zhuǎn)軸、第三轉(zhuǎn)軸、第一固定件和第二固定件；所述第一固定件和第二固定件的一端分別固定安裝在腔門的外壁和腔門上，所述第一連桿的一端與第一固定件的另一端通過機(jī)械咬合連接，所述第一轉(zhuǎn)軸插在第一連桿與第一固定件的機(jī)械咬合連接處；所述第二連桿的一端與第二固定件的另一端通過機(jī)械咬合連接，所述第二轉(zhuǎn)軸插在第二連桿與第二固定件的機(jī)械咬合連接處；所述第一連桿的另一端與第二連桿的另一端通過機(jī)械咬合連接，所述第三轉(zhuǎn)軸插在第一連桿與第二連桿的機(jī)械咬合連接處；所述水平導(dǎo)向組件包括第三固定件、直線導(dǎo)軌和滑塊；所述第三固定件固定安裝在腔體外壁上，所述直線導(dǎo)軌的一端固定連接在第三固定件上，所述滑塊的固定安裝在腔門上；所述滑塊在直線導(dǎo)軌上滑動(dòng)，當(dāng)滑塊滑至直線導(dǎo)軌遠(yuǎn)離腔體的末端后，滑塊脫離直線導(dǎo)軌。

進(jìn)一步的，在腔門與腔體的鉸鏈組件安裝處還設(shè)有旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向組件，所述旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向組件包括連接件、第四轉(zhuǎn)軸；所述連接件的一端固定連接在腔門上，連接件的另一端通過連接在滑塊上，連接件與滑塊的連接處設(shè)有第四轉(zhuǎn)軸。

進(jìn)一步的，在腔體和腔門的連接處設(shè)有上下兩組鉸鏈組件。

進(jìn)一步的，所述腔門與腔體沒有安裝鉸鏈組件的一側(cè)設(shè)有卡扣組件，通過卡扣組件鎖定腔門的關(guān)閉狀態(tài)。

進(jìn)一步的，所述腔門的外壁上還設(shè)有把手。

本實(shí)用新型具有如下有益效果：