[實用新型]一種用于離子束刻蝕機開合門的連桿鉸鏈導向機構有效
| 申請號： | 202020980937.0 | 申請日： | 2020-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN213175232U | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發明（設計）人： | 郭頌;王鋮熠;程實然;劉海洋;張瑤瑤;張軍;胡冬冬;許開東 | 申請（專利權）人： | 北京魯汶半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | E05D3/18 | 分類號： | E05D3/18;H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹佩佩 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 離子束 刻蝕 機開合門 連桿 鉸鏈 導向 機構 | ||
1.一種用于離子束刻蝕機開合門的連桿鉸鏈導向機構，其特征在于：包括腔體和安裝在腔體上的腔門，
所述腔門的一側通過鉸鏈組件安裝在腔體上，在腔門與腔體的鉸鏈組件安裝處設有水平導向組件；
所述鉸鏈組件包括第一連桿、第二連桿、第一轉軸、第二轉軸、第三轉軸、第一固定件和第二固定件；
所述第一固定件和第二固定件的一端分別固定安裝在腔門的外壁和腔門上，所述第一連桿的一端與第一固定件的另一端通過機械咬合連接，所述第一轉軸插在第一連桿與第一固定件的機械咬合連接處；
所述第二連桿的一端與第二固定件的另一端通過機械咬合連接，所述第二轉軸插在第二連桿與第二固定件的機械咬合連接處；
所述第一連桿的另一端與第二連桿的另一端通過機械咬合連接，所述第三轉軸插在第一連桿與第二連桿的機械咬合連接處；
所述水平導向組件包括第三固定件、直線導軌和滑塊；
所述第三固定件固定安裝在腔體外壁上，所述直線導軌的一端固定連接在第三固定件上，所
述滑塊的固定安裝在腔門上；所述滑塊在直線導軌上滑動，當滑塊滑至直線導軌遠離腔體的末端后，滑塊脫離直線導軌。
2.根據權利要求1所述的用于離子束刻蝕機開合門的連桿鉸鏈導向機構，其特征在于：在腔門與腔體的鉸鏈組件安裝處還設有旋轉導向組件，所述旋轉導向組件包括連接件、第四轉軸；
所述連接件的一端固定連接在腔門上，連接件的另一端通過連接在滑塊上，連接件與滑塊的連接處設有第四轉軸。
3.根據權利要求1所述的用于離子束刻蝕機開合門的連桿鉸鏈導向機構，其特征在于：在腔體和腔門的連接處設有上下兩組鉸鏈組件。
4.根據權利要求1所述的用于離子束刻蝕機開合門的連桿鉸鏈導向機構，其特征在于：所述腔門與腔體沒有安裝鉸鏈組件的一側設有卡扣，通過卡扣鎖定腔門的關閉狀態。
5.根據權利要求1所述的用于離子束刻蝕機開合門的連桿鉸鏈導向機構，其特征在于：所述腔門的外壁上還設有把手。
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