[實用新型]一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置

有效

• 申請號: 202020979136.2
• 申請日: 2020-06-02
• 公開（公告）號: CN213266696U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 錢孟;蒲天;尹鳴
• 申請（專利權）人: 梅耶博格光電設備（上海）有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/50;H01L31/18
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 袁興隆

本實用新型涉及一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置，包括出料腔、進氣孔和充氣緩沖裝置，所述進氣孔形成于出料腔內底部，所述充氣緩沖裝置遮蓋于進氣孔上，所述充氣緩沖裝置呈中空腔體狀，所述進氣孔與充氣緩沖裝置中空腔體導通；在所述充氣緩沖裝置上形成有出氣孔，所述出氣孔氣流方向斜向上或正向上。本實用新型氣流經充氣緩沖裝置彌散和強度緩和，不會帶起底部粉塵，從而大大降低電池片污染機率和后續電池不良率。

技術領域

本實用新型涉及一種新型板式PECVD出料腔，具體公開一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置。

背景技術

在太陽能電池的板式PECVD鍍膜工序中，裝載著電池片的載板經過出料腔(UM腔)時，需等待腔體從真空狀態恢復成大氣壓狀態才可傳輸出設備，此過程中，由于生產過程中腔體底部會積累大量反應生產的粉塵，在現有充氣緩沖裝置(如圖1、2所示，彎折的薄板，又稱充氣蓋板)的設計下，底部進氣孔沖上的氮氣部分會從充氣蓋板左右兩側和前端底部水平方向集中排出(如圖2中箭頭指示)，氣流速度和強度較強且集中，會不同程度的帶起底部和兩側角落的粉塵，從而污染電池片，影響后續工藝質量。

實用新型內容

本實用新型的發明目的在于：為解決以上問題提供一種可緩和氣流強度，對氣流具有導向作用的新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置。

本實用新型采用的技術方案是這樣的：

一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置，包括出料腔、進氣孔和充氣緩沖裝置，所述進氣孔形成于出料腔內底部，所述充氣緩沖裝置遮蓋于進氣孔上，所述充氣緩沖裝置呈中空腔體狀，所述進氣孔與充氣緩沖裝置中空腔體導通；在所述充氣緩沖裝置上形成有出氣孔，所述出氣孔氣流方向斜向上或正向上。

進一步地，所述進氣孔通過導氣管與充氣緩沖裝置中空腔體導通。

進一步地，所述出氣孔方向斜向上對準腔壁。

綜上所述，由于采用上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

本實用新型直接由導氣管將氣體引入充氣緩沖裝置，再經出氣孔排出，氣流彌散和強度緩和，并且氣流方向斜向上或正向上，不會帶起底部粉塵，從而大大降低電池污染機率和后續電池不良率。

附圖說明

圖1為本實用新型現有充氣緩沖裝置結構圖；

圖2為本實用新型現有充氣緩沖裝置與出料腔連接結構圖；

圖3為本實用新型改進后的充氣緩沖裝置結構圖；

圖4為本實用新型改進后的充氣緩沖裝置與出料腔連接結構圖；

圖5為本實用新型新型出料腔充氣緩沖裝置設置處截面圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。

如圖3～5所示，一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置，包括出料腔1、進氣孔2和充氣緩沖裝置3，所述進氣孔2形成于出料腔 1內底部，所述充氣緩沖裝置3遮蓋于進氣孔2上，所述充氣緩沖裝置3呈中空腔體狀，所述進氣孔2通過導氣管與充氣緩沖裝置3中空腔體導通(圖中未畫出)，所述導氣管與充氣緩沖裝置直接連接，連接處加強密封；如圖3、5所示，在所述充氣緩沖裝置3上形成有一排均勻間隔分布的出氣孔4，所述出氣孔4位于充氣緩沖裝置3上蓋板和側板連接轉角處，使得出氣孔氣流方向斜向上對準腔壁。

圖5中箭頭導向分別是進氣孔2進氣方向和出氣孔4出氣方向。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。