[實(shí)用新型]一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020979136.2
• 申請(qǐng)日: 2020-06-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213266696U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢(qián)孟;蒲天;尹鳴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 梅耶博格光電設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455;C23C16/50;H01L31/18
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 袁興隆

1.一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置，包括出料腔、進(jìn)氣孔和充氣緩沖裝置，所述進(jìn)氣孔形成于出料腔內(nèi)底部，所述充氣緩沖裝置遮蓋于進(jìn)氣孔上，其特征在于：所述充氣緩沖裝置呈中空腔體狀，所述進(jìn)氣孔與充氣緩沖裝置中空腔體導(dǎo)通；在所述充氣緩沖裝置上形成有出氣孔，所述出氣孔氣流方向斜向上或正向上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣孔通過(guò)導(dǎo)氣管與充氣緩沖裝置中空腔體導(dǎo)通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型板式PECVD出料腔充氣緩沖裝置，其特征在于：所述出氣孔方向斜向上對(duì)準(zhǔn)腔壁。