[實用新型]一種光刻芯片助焊劑清洗設備

有效

• 申請號: 202020972890.3
• 申請日: 2020-06-02
• 公開（公告）號: CN212209456U
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 何文海
• 申請（專利權）人: 蘇州麥克博斯儀器有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種光刻芯片助焊劑清洗設備，包括清洗箱以及通過合頁鉸接在清洗箱正面的箱門，本實用新型涉及清洗設備技術領域。該光刻芯片助焊劑清洗設備，通過清洗箱的內部活動連接有固定機構，固定機構包括固定板，且固定板的兩側均固定連接有滑塊，固定板的內部開設有通槽，且通槽內部的兩側均滑動連接有限位板，固定板的內部開設有活動槽，且活動槽的內部固定連接有滑桿，限位板的內部與滑桿的表面滑動連接，且滑桿的表面滑動連接有彈簧，利用固定板內部兩側的兩個限位板可以將光刻芯片穩定的固定在固定板中，避免了芯片在清洗過程中發生晃動，保證了芯片在清洗過程中的安全性，大幅提高了清洗設備的實用性。

技術領域

本實用新型涉及清洗設備技術領域，具體為一種光刻芯片助焊劑清洗設備。

背景技術

將電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜集成電路，另有一種厚膜集成電路是由獨立半導體設備和被動組件，集成到襯底或線路板所構成的小型化電路，相對于手工組裝電路使用個別的分立電子組件，集成電路可以把很大數量的微晶體管集成到一個小芯片，電路設計的模塊化方法確保了快速采用標準化集成電路代替了設計使用離散晶體管。

現有技術中對于光刻芯片所采用的清洗設備在使用的時候存在無法穩定的對芯片進行固定，造成芯片在清洗過程中發生晃動，從而導致芯片容易受到損壞，清洗設備的實用性較差，為此，本領域技術人員提出了一種光刻芯片助焊劑清洗設備。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種光刻芯片助焊劑清洗設備，解決了現有技術中對于光刻芯片所采用的清洗設備在使用的時候存在無法穩定的對芯片進行固定，造成芯片在清洗過程中發生晃動，從而導致芯片容易受到損壞，清洗設備實用性較差的問題。

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：一種光刻芯片助焊劑清洗設備，包括清洗箱以及通過合頁鉸接在清洗箱正面的箱門，所述清洗箱的內部活動連接有固定機構，且清洗箱內壁的正面與背面均固定連接有分流板，兩個所述分流板相對的一側均固定連接有噴頭；

所述固定機構包括固定板，且固定板的兩側均固定連接有滑塊，所述固定板的內部開設有通槽，且通槽內部的兩側均滑動連接有限位板，所述固定板的內部開設有活動槽，且活動槽的內部固定連接有滑桿，所述限位板的內部與滑桿的表面滑動連接，且滑桿的表面滑動連接有彈簧，所述彈簧的一端與限位板的一側固定連接，且彈簧的另一端與活動槽內壁的一側固定連接，所述限位板內部的一側固定連接有海綿墊，且限位板與固定板的內部均開設有通口。

優選的，所述通槽內壁的頂部與底部均開設有滑槽一，且限位板的頂部與底部分別與兩個滑槽一的內部滑動連接。

優選的，所述清洗箱內部的兩側均固定連接有伺服電缸，且兩個伺服電缸驅動軸的頂端分別與兩個滑塊的底部固定連接。

優選的，所述清洗箱內部的兩側均開設有與滑塊相適配的滑槽二，且兩個滑塊的表面分別與兩個滑槽二的內部滑動連接。

優選的，所述清洗箱的左側固定連接有進水管，且進水管的一端貫穿清洗箱并延伸至清洗箱的內部，所述進水管延伸至清洗箱內部的一端與分流板的內部連通。

優選的，所述清洗箱內壁底部的一側連通有排水管，且排水管的一端貫穿清洗箱并延伸至清洗箱的外部。

有益效果

本實用新型提供了一種光刻芯片助焊劑清洗設備。與現有技術相比具備以下有益效果：