[實(shí)用新型]一種光刻芯片助焊劑清洗設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020972890.3
• 申請日: 2020-06-02
• 公開（公告）號: CN212209456U
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何文海
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州麥克博斯儀器有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻芯片助焊劑清洗設(shè)備，包括清洗箱（1）以及通過合頁鉸接在清洗箱（1）正面的箱門（2），其特征在于：所述清洗箱（1）的內(nèi)部活動連接有固定機(jī)構(gòu)（3），且清洗箱（1）內(nèi)壁的正面與背面均固定連接有分流板（4），兩個(gè)所述分流板（4）相對的一側(cè)均固定連接有噴頭（5）；

所述固定機(jī)構(gòu)（3）包括固定板（31），且固定板（31）的兩側(cè)均固定連接有滑塊（6），所述固定板（31）的內(nèi)部開設(shè)有通槽（33），且通槽（33）內(nèi)部的兩側(cè)均滑動連接有限位板（34），所述固定板（31）的內(nèi)部開設(shè)有活動槽（35），且活動槽（35）的內(nèi)部固定連接有滑桿（36），所述限位板（34）的內(nèi)部與滑桿（36）的表面滑動連接，且滑桿（36）的表面滑動連接有彈簧（37），所述彈簧（37）的一端與限位板（34）的一側(cè)固定連接，且彈簧（37）的另一端與活動槽（35）內(nèi)壁的一側(cè)固定連接，所述限位板（34）內(nèi)部的一側(cè)固定連接有海綿墊（38），且限位板（34）與固定板（31）的內(nèi)部均開設(shè)有通口（39）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻芯片助焊劑清洗設(shè)備，其特征在于：所述通槽（33）內(nèi)壁的頂部與底部均開設(shè)有滑槽一（32），且限位板（34）的頂部與底部分別與兩個(gè)滑槽一（32）的內(nèi)部滑動連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻芯片助焊劑清洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗箱（1）內(nèi)部的兩側(cè)均固定連接有伺服電缸（7），且兩個(gè)伺服電缸（7）驅(qū)動軸的頂端分別與兩個(gè)滑塊（6）的底部固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻芯片助焊劑清洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗箱（1）內(nèi)部的兩側(cè)均開設(shè)有與滑塊（6）相適配的滑槽二（8），且兩個(gè)滑塊（6）的表面分別與兩個(gè)滑槽二（8）的內(nèi)部滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻芯片助焊劑清洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗箱（1）的左側(cè)固定連接有進(jìn)水管（9），且進(jìn)水管（9）的一端貫穿清洗箱（1）并延伸至清洗箱（1）的內(nèi)部，所述進(jìn)水管（9）延伸至清洗箱（1）內(nèi)部的一端與分流板（4）的內(nèi)部連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻芯片助焊劑清洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗箱（1）內(nèi)壁底部的一側(cè)連通有排水管（10），且排水管（10）的一端貫穿清洗箱（1）并延伸至清洗箱（1）的外部。