[實用新型]一種用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020971840.3
• 申請日: 2020-06-01
• 公開（公告）號: CN211248328U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張鳳戈;岳萬祥;魏鐵峰;史建有
• 申請（專利權(quán)）人: 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
• 主分類號: B22F3/00
• 分類號: B22F3/00;B22F5/00;C23C14/22
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11387
• 代理人: 劉春成

1.一種用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：包括用于盛裝金屬粉末的料桶和吊裝機構(gòu)，所述料桶的底端連通有裝料管，所述裝料管的高度大于或等于待裝粉的包套管的高度，所述吊裝機構(gòu)用于吊起所述料桶并驅(qū)動所述裝料管沿所述包套管的延伸方向移動以調(diào)整所述裝料管插入所述包套管內(nèi)的深度。

2.如權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：還包括防塵桶蓋，所述防塵桶蓋蓋設(shè)于所述料桶的頂端。

3.如權(quán)利要求2所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：所述料桶、防塵桶蓋和裝料管均采用不銹鋼制作而成，且所述料桶和裝料管的內(nèi)壁均經(jīng)過拋光處理。

4.如權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：所述料桶的底端還設(shè)有閥門，所述閥門用于控制所述裝料管的通斷。

5.如權(quán)利要求4所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于，所述閥門為球閥。

6.如權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：所述吊裝機構(gòu)包括吊板，所述吊板位于所述料桶的上方，所述吊板的底端對稱設(shè)有吊鉤，所述料桶的外壁對稱設(shè)有掛耳，所述吊鉤與所述掛耳上下對應(yīng)設(shè)置，且所述吊鉤與所述掛耳相勾掛連接。

7.如權(quán)利要求6所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：所述吊裝機構(gòu)還包括行車。

8.如權(quán)利要求6或7所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：所述吊板呈倒置的V形，且所述吊板的頂部設(shè)有用于與行車相連接的通孔。

9.如權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：所述料桶主體呈圓柱狀，且所述料桶設(shè)有圓錐狀的底部。

10.如權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)PVD用靶材錠坯的裝粉裝置，其特征在于：所述裝料管的頂部與所述料桶的底部通過螺紋連接。