[實用新型]一種適用于PECVD設備的爐體調節機構

有效

• 申請號: 202020951444.4
• 申請日: 2020-05-29
• 公開（公告）號: CN212864965U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 陳暉;王玉明;程海良;陸尉
• 申請（專利權）人: 蘇州拓升智能裝備有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/513
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理有限公司 11369
• 代理人: 祁云珊

1.一種適用于PECVD設備的爐體調節機構，其特征在于，包括：爐體(11)；與所述爐體(11)接觸連接的至少2根的支撐桿(12)；以及設于所述支撐桿(12)的側端部的調節裝置(13)；

其中，所述調節裝置(13)至少設有2組，所述調節裝置(13)可通過所述支撐桿(12)控制所述爐體(11)延X軸方向及Z軸方向往復運動。

2.如權利要求1所述的適用于PECVD設備的爐體調節機構，其特征在于，所述支撐桿(12)延Y軸方向延伸，且相鄰的兩支撐桿(12)之間限定出所述爐體(11)的放置空間。

3.如權利要求1所述的適用于PECVD設備的爐體調節機構，其特征在于，所述調節裝置(13)包括：固定底座(131)；

固接于所述固定底座(131)頂端部的導軌塊(132)，所述導軌塊(132)的中部開設有一導向槽(1321)；

設于所述導向槽(1321)內部且與所述導軌塊(132)滑動連接的第一調節組件(133)；以及

設于所述導軌塊(132)側端部的第二調節組件(134)；

其中，所述導軌塊(132)延Y軸方向兩側設有導向部(1322)，所述導向部(1322)延X軸方向延伸，所述導軌塊(132)延X軸方向兩側設有限位部(1323)。

4.如權利要求3所述的適用于PECVD設備的爐體調節機構，其特征在于，所述第一調節組件(133)包括：設于所述導向槽(1321)內部的驅動絲桿(1331)，以及

套接于驅動絲杠(1331)表面且與驅動絲杠(1331)螺接的活動塊(1332)，所述活動塊(1332)至少設有2個；

其中，兩活動塊(1332)通過連接座(1333)分別與兩所述支撐桿(12)相固接。

5.如權利要求4所述的適用于PECVD設備的爐體調節機構，其特征在于，所述驅動絲桿(1331)包括：第一螺旋部(1331a)；以及第二螺旋部(1331b)；所述第一螺旋部(1331a)及所述第二螺旋部(1331b)對稱設置，且所述第一螺旋部(1331a)及所述第二螺旋部(1331b)的螺牙螺旋方向相反；

其中，兩活動塊(1332)分別與所述第一螺旋部(1331a)及所述第二螺旋部(1331b)螺接。

6.如權利要求4所述的適用于PECVD設備的爐體調節機構，其特征在于，所述驅動絲桿(1331)的兩側端部均設有絲桿安裝座(1334)，所述驅動絲桿(1331)與所述絲桿安裝座(1334)轉動連接；所述絲桿安裝座(1334)與所述導向部(1322)滑動連接，且所述絲桿安裝座(1334)可延所述導向部(1322)延伸方向往復滑動。

7.如權利要求6所述的適用于PECVD設備的爐體調節機構，其特征在于，所述第二調節組件(134)包括：調節螺栓(1341)，其通過固定板(1342)固接于所述固定底座(131)的頂端部；以及

調節板(1343)，所述調節板(1343)與所述導向部(1322)滑動連接，且所述調節板(1343)可延所述導向部(1322)延伸方向往復滑動；

其中，所述調節螺栓(1341)至少設有2個，所述調節螺栓(1341)的螺紋部與所述調節板(1343)固接，所述調節板(1343)與所述絲桿安裝座(1334)固接。